付秋明
- 作品数：50 被引量：50H指数：3
- 供职机构：武汉工程大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金湖北省高等学校教学研究项目湖北省教育厅科学技术研究项目更多>>
- 相关领域：化学工程理学文化科学核科学技术更多>>
- 氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜的影响机理被引量：3
- 2014年
- 采用电子回旋共振(ECR)等离子体在不同的磁场位形和工作气压下刻蚀化学气相沉积(CVD)金刚石膜,运用双探针和离子灵敏探针法对等离子体进行了诊断,研究了等离子体参数对刻蚀效果的影响。结果表明:磁场由发散场向收敛场转变时,离子温度、电子温度和等离子体密度都随之增大,刻蚀效果逐渐增强;当工作气压由低气压向高气压变化时,等离子体参数先增大后减小,CVD金刚石膜表面粗糙度降低程度也出现了相同的趋势。
- 潘鑫马志斌李国伟曹为王传新付秋明
- 关键词：刻蚀CVD金刚石等离子体参数ECR等离子体
- ECR-MPCVD单晶金刚石外延生长研究
- 2023年
- 借助高速光纤光谱仪对ECR微波等离子体进行实时诊断,研究了等离子体空间分布以及工作气压和甲烷浓度对等离子体发射光谱的影响,并在ECR-MPCVD设备上研究了单晶金刚石同质外延生长工艺。在CH4/H2体系下,ECR微波等离子体与运行于中高气压下等离子体中所含基团种类基本相同。且等离子体各基团谱峰相对强度沿磁场强度梯度下降的方向减弱,在磁场共振区(875 Gs)最强,将基片台置于磁场共振区,则基片台附近各基团谱峰相对强度随气压的升高先增强后减弱,I(H_(α))、I(H_(β))、I(H_(γ))峰值在气压0.6 Pa附近,I(CH)和I(C_(2))峰值在0.8 Pa附近。保持工作气压为0.8 Pa,甲烷浓度从0.5%增加到8%的过程中,I(H_(α))几乎不变,I(H_(β))和I(H_(γ))先降低后趋于饱和,I(CH)和I(C_(2))先增强后趋于饱和;I(H_(α))/I(C_(2))先急剧下降后缓慢减小再趋于饱和,I(H_(α))/I(CH)缓慢减小并趋于饱和,I(CH)/I(C_(2))和I(H_(γ))/I(H_(β))基本不变。以微波功率1200 W,氢气流量50 mL/min,甲烷浓度3%,工作气压0.8 Pa,金刚石种晶温度800℃的条件下生长10 h,在抛光的单晶金刚石表面得到了呈台阶状生长的外延层,生长速率为200 nm/h。
- 张通王御睿张昊张宇付秋明赵洪阳马志斌
- 关键词：等离子体发射光谱
- 材料类专业本科毕业设计的实践研究被引量：4
- 2013年
- 为提高毕业论文质量,尝试在第七学期增加一个学年论文环节。此方法分担毕业设计中查阅总结文献的部分工作、并观摩实验,各位指导教师可有效判断学生能力,在第八学期微调毕业设计的主题,达到因材施教的效果;同时能使毕业论文有较充裕的时间进行机动。实践表明,学年论文环节的增加,可根据学生的能力、兴趣,个性化地设计毕业设计主题,显著提高了学生毕业设计的考勤率,明显提升了毕业设计的质量,有利于学生能力的增强。
- 陈喆汪建华王传新付秋明马志斌
- 关键词：因材施教材料物理专业
- CuO/ZnO复合纳米结构的制备及其气敏性能研究被引量：1
- 2022年
- 用简单的一步水热法合成了CuO/ZnO复合纳米结构,通过改变溶液中Cu离子的浓度得到不同CuO含量的样品。用扫描电镜、X射线衍射仪等表征了样品的形貌和结构,用智能气敏分析仪测试了样品对乙醇气体的响应特性。结果表明,相对纯ZnO,CuO/ZnO复合纳米结构对乙醇气体的响应有明显的增强。溶液中Cu离子与Zn离子摩尔比为3∶5时,合成样品的气敏性能最好,它在最佳工作温度200℃下对体积浓度为100×10^(-6)的乙醇的灵敏度为55.3。这种气敏性能的显著增强可以归因于样品比表面积的提高和p-n结的形成。
- 魏雪纯陈星佳杜锐牛晓娟涂亚芳付秋明
- 关键词：气敏性能
- 双侧波导同轴线耦合式线形微波等离子体源的研究
- 2017年
- 本文介绍了一种具有双侧波导同轴线耦合结构的新型微波等离子体源。通过电磁场模拟计算和等离子体发射光谱测量对同轴线耦合反应腔内部结构进行了优化,研究了线形等离子体源腔体结构对等离子体均匀性和长度的影响,并且在杆状样品表面进行了金刚石薄膜的沉积实验。实验结果表明:双侧波导同轴线耦合式新型线形等离子体源可以在引导天线表面产生圆柱状的线形等离子体,其等离子体的均匀性和长度受腔体内部结构的影响,在引导天线外径为4 mm,单侧模式匹配棒伸入量为10 mm的腔体结构下,等离子体的均匀性大于90%。通过对杆状样品表面不同位置处金刚石膜质量和等离子体沉积环境的测量,进一步验证了等离子体的均匀性。此外,线形等离子体的长度受引导天线长度和工作气压影响,这主要与反应腔内电磁场分布以及微波传输衰减有关。
- 张田田马志斌黄宏伟王传新付秋明汪建华
- 关键词：电磁场金刚石薄膜
- Zn掺杂In_(2)O_(3)分级微球的制备及正丁醇气敏性能研究
- 2023年
- 采用水热法制备了Zn掺杂In_(2)O_(3)分级微球,并进一步制备了相应的气敏传感器,研究了Zn掺杂浓度对In_(2)O_(3)分级微球的表面形貌、晶体结构和气敏性能的影响。随着Zn掺杂浓度的增加,In_(2)O_(3)分级微球的形貌发生变化,晶粒尺寸也随之减小。当参与反应的Zn/In物质的量比为3%时,掺杂In_(2)O_(3)分级微球具有最佳的正丁醇气敏性能。在120℃的最佳工作温度下,对20×10~(-6)正丁醇的灵敏度达到169,且具有良好的重复性和选择性,进一步讨论了Zn掺杂对In_(2)O_(3)分级微球气敏性能的影响机制。
- 孙雅迪董宏坤王超付秋明
- 关键词：气敏传感器
- MPCVD法同质外延生长单晶金刚石被引量：7
- 2017年
- 利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在高温高压(HPHT)下制备的单晶片上进行单晶金刚石同质外延生长,研究了甲烷浓度和衬底温度对金刚石生长的影响。利用扫描电子显微镜与激光拉曼光谱仪对生长前后的样品进行表征。结果表明,利用HPHT单晶片上生长时,主要为层状生长和丘状生长模式,丘状生长易出现多晶结构。降低甲烷浓度能够降低丘状生长密度,提高金刚石表面平整度;金刚石生长速率随甲烷浓度、工作气压和衬底温度的增加而提高,但过高的甲烷浓度(72%)和衬底温度(1 150℃)会降低金刚石的质量。所生长出的单晶金刚石质量较为理想,衬底与生长层之间过渡比较自然,金刚石结晶度高,缺陷密度小,但随膜层增厚,非晶碳含量有所增加。
- 严垒马志斌陈林付秋明吴超高攀
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积单晶金刚石
- 材料物理专业建设的探索与思考被引量：2
- 2016年
- 材料物理专业是物理学与材料科学的交叉学科,培养适应高新技术产业发展的新型人才。可从学科平台、专业定位、专业特色等方面对材料物理专业的建设进行总结,为材料物理专业应用型人才培养提供参考性意见。
- 王传新马志斌满卫东付秋明熊礼威
- 关键词：材料物理学科平台
- Ga_(2)O_(3)/p-GaN异质结自供电日盲紫外光探测器的制备与光电性能研究
- 2023年
- 采用水热法在p-GaN衬底上生长Ga_(2)O_(3)纳米棒阵列,构建了Ga_(2)O_(3)/p-GaN异质结自供电日盲紫外光探测器。首先对异质结的形貌和结构性能进行了研究,并进一步对异质结紫外光探测器的伏安特性和紫外光探测性能进行了探索。结果表明在0 V偏压和254 nm紫外光照下,器件表现出明显的自供电日盲紫外光响应,响应度为718.8 mA/W,并具有良好的稳定性和重复性。结合异质结能带理论对器件的自供电紫外光响应机理进行了讨论。
- 孙雅迪王超付秋明
- 关键词：氧化镓异质结自供电
- 不晶面上同质外延生长单晶金刚石
- 本文利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)，在天然金刚石的(100)、(110)以及(111)晶面上进行了同质外延生长单晶金刚石的研究，分析了这三个晶面上同质外延生长特点。结果表明，不同的晶面上金刚石的生长速率和形...
- 吴超马志斌宋修曦丁康俊付秋明王传新
- 关键词：单晶金刚石晶面化学气相沉积
