刘丽冰
- 作品数:9 被引量:11H指数:3
- 供职机构:中国科学院高能物理研究所更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划中国工程物理研究院科学技术发展基金更多>>
- 相关领域:理学电子电信核科学技术机械工程更多>>
- 同步辐射光监测系统
- 1993年
- 北京正负电子对撞机的3B1束线是一条专用光刻束线,光源的性能将影响光刻的质量,必须用特殊的探测方法对光源特性进行监测,为此建立了一套同步辐射光的实时监测系统。
- 孙坚黄英陈京涛刘丽冰唐鄂生凌如昭吴坚武
- 关键词:监测系统
- Wiggler束线4W1A同步光的初步观测
- 1990年
- 本文给出了北京正负电子对撞机(BEPC)同步辐射Wiggler束线(4W1A)的光斑特点、强度、能谱以及位置稳定性等的首次实测结果,并与理论计算作了比较.两者得出了一致的结果.
- 唐鄂生崔明启刘丽冰徐文轩巢志瑜吴应荣王春喜冼鼎昌
- 关键词:BEPC
- 北京同步辐射装置X光光刻束线监测系统
- 1992年
- 本文介绍了安装在北京同步辐射装置(BSRF)3B1束线上的自制同步辐射光束在线监测系统,对光束垂直位置、光斑均匀性及光刻曝光量(同步光积分光强)实现了在线监控,给出了实时在线测试结果。
- 崔明启刘丽冰徐文轩唐鄂生吴坚武王培玮尹福廷陈光辉
- 关键词:光刻X辐射
- 北京同步辐射装置(BSRF)3B1束线精细调试被引量:3
- 1992年
- 本文给出了北京同步辐射装置(BSRF)3B1束线在BEPC专用模式(储存环电子能量E_e=2GeV)不同闭轨情况下的最佳光强输出及最佳工作条件选择,并给出不同状态下的能谱测试及分析结果。
- 崔明启刘丽冰徐文轩吴坚武王培玮伊福廷顾向明
- 关键词:BSRFBEPC
- 同步辐射3B1束线光监测系统
- 一、引言同步幅射光具有高亮度,平行性好,发射度小,光谱连续可调等显著特点, 是目前x射线亚微米光刻最理想的光源。北京正负电子对撞机3B1束线正是为探索X射线亚微米光刻的实验条件和工艺手段而建造的一条专用束线。
- 刘丽冰唐鄂生凌如昭吴坚武黄英陈京涛
- 关键词:监测系统步进电机光电发射发射度
- 文献传递
- 软X光多层膜位相型矩形光栅的实验研究及其光学特性
- 1994年
- 详细给出了软X光多层膜位相型矩形光栅的实验、分析测试结果以及在北京国家同步辐射实验室测得的光学衍射特性,井进行了分析.
- 袁利祥范正修殷功杰易葵邵建达崔明启刘丽冰缪建伟陈光辉
- 关键词:软X射线位相光栅多层膜衍射
- 同步辐射软X光Al衰减膜透射率的测量被引量:4
- 1996年
- 分参数测量Al衰减膜的质量厚度和氧化层后,通过计算得到了Al膜的透过率。为检验计算结果的正确性,在北京同步辐射软X光反射率计装置上进行Al衰减膜透过率的直接测量。二者的结果在最大偏差11%范围内符合。
- 陈玲燕王珏杜保旗周斌崔明启刘丽冰黎刚丁大钊
- 关键词:透过率铝
- 用吸收边法测量软X射线的绝对能量
- 在北京同步辐射装置(BSRF)3B1束线软X光学实验站反射率计上用透射吸收方法测量了C和Al两种元素的吸收透过谱.根据这两种元素的吸收边确定了反射率计单色器的绝对输出能量,结果分别为 0.2836和0.0712keV,与...
- 崔明启刘丽冰缪建伟黎刚
- 关键词:软X射线绝对测量
- 文献传递
- 亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究被引量:4
- 1995年
- 简要叙述软x射线多层膜位相光栅的理论设计、实验制备,详细给出了在北京同步辐射装置3B1束线上对多层膜位相光栅衍射效率的测试,以及对测试结果的分析,并与理论值进行了比较.
- 袁利祥范正修殷功杰邵建达易葵崔明启刘丽冰缪建伟陈光辉沈孝良
- 关键词:软X射线衍射效率