刘望
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：四川大学更多>>
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- 相关领域：一般工业技术电子电信更多>>
- 氦对铜钨纳米多层膜界面稳定性的影响被引量：1
- 2012年
- 采用射频磁控溅射方法,分别在纯Ar和Ar,He混合气氛下制备了多个不同调制周期的Cu/W纳米多层膜.利用增强质子背散射(EPBS)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)分别对Cu/W多层膜中He含量、截面形貌和相结构进行了分析.结果表明:多层膜的界面稳定性是耐氦损伤的前提和保证.在适当的调制周期下,纳米多层膜能有抑制氦泡成核及长大的能力.
- 刘望邬琦琦陈顺礼朱敬军安竹汪渊
- 关键词：纳米多层膜
- 界面对ZrN/TaN纳米多层膜固氦性能的影响
- 2013年
- 采用射频磁控溅射方法,在混合气氛下制备了ZrN/TaN多层膜.利用X射线衍射、慢正电子束分析、增强质子背散射、扫描电子显微镜,分别对ZrN/TaN多层膜中相结构、氦相关缺陷、氦含量、截面形貌等进行了分析.结果表明,调制周期为30 nm的ZrN/TaN多层膜在600°C退火后,氦的保持率仍能达到45.6%.在适当的调制周期下,ZrN/TaN多层膜能够耐氦损伤并且其界面具有一定的固氦性能.
- 王飞刘望邓爱红朱敬军安竹汪渊
- 关键词：ZRNTAN纳米多层膜固氦
- 常温低氮氩比下(002)择优取向氮化铝薄膜的制备
- 2011年
- 常温下采用反应射频磁控溅射方法在玻璃基底上制备出(002)单一择优取向柱状结构的氮化铝薄膜,通过XRD分析发现溅射功率为80W、溅射气压为0.20 Pa、氮气与氩气比为5%时,氮化铝(002)晶体衍射峰最强,通过FESEM表面及截面分析表明在此条件下得到的氮化铝薄膜表面较平整、致密性较好.
- 孙化冬彭冬香张伟张立东刘望汪渊
- 关键词：AIN薄膜射频反应磁控溅射沉积速率
