您的位置： 专家智库 > >

吕安新

作品数：5 被引量：2H指数：1
供职机构：大连理工大学电子科学与技术学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 2篇淀积
  • 2篇热力学
  • 2篇热力学参数
  • 2篇自对准
  • 2篇微结构
  • 2篇微型传感器
  • 2篇硅衬底
  • 2篇感器
  • 2篇衬底
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇热容
  • 1篇热物性
  • 1篇自动测试系统
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇LABVIE...
  • 1篇MEMS

机构

  • 5篇大连理工大学

作者

  • 5篇吕安新
  • 4篇余隽
  • 3篇唐祯安
  • 3篇冯冲

传媒

  • 1篇中国科技成果
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 3篇2010
  • 2篇2009
共 5 条 记 录，以下是 1-5
全选 清除 导出
排序方式：
双层悬空梁微结构薄膜量热计
本实用新型公开了一种双层悬空梁微结构薄膜量热计，属于微型传感器技术领域。其特征是该双层悬空梁微结构薄膜量热计，包括硅衬底、第一层薄膜悬梁和第二层薄膜悬梁，其特征在于：第一层薄膜悬梁两端固支，悬架在硅衬底上，平行于硅衬底表...
余隽唐祯安冯冲吕安新
文献传递
双层悬空梁微结构薄膜量热计
本发明公开了一种双层悬空梁微结构薄膜量热计，属于微型传感器技术领域。其特征是该双层悬空梁微结构薄膜量热计，包括硅衬底、第一层薄膜悬梁和第二层薄膜悬梁，其特征在于：第一层薄膜悬梁两端固支，悬架在硅衬底上，平行于硅衬底表面；...
余隽唐祯安冯冲吕安新
文献传递
复合薄膜热导率测试系统研究被引量：2
2010年
针对薄膜热物性测量还没有成熟的测试系统，设计了一种基于微桥静态测量法的复合薄膜热导率测试系统。该系统由PC机、仪器控制与数据采集模块、可控温真空系统构成。软件编程在LabVIEW平台上实现。利用该系统测量了由SiO2薄膜和多晶硅溥膜组成的悬臂梁结构的复合薄膜热导率。在10．4Pa真空中，测得悬臂梁平均温度320～400K范围内的等效热导率在9～12W／（m·K），其热导率随着温度升高而增大，测试结果和理论值一致。实验表明：系统测试效率高、通用性好，且易于扩展。
吕安新余隽唐祯安冯冲
关键词：微机电系统悬臂梁
薄膜热物性的测试系统研究
微纳米薄膜材料广泛应用于MEMS(微机电系统)中,全面了解薄膜材料的热物性对于MEMS热设计十分重要。而薄膜材料的热特性由于量子效应、表面效应等的存在产生了明显的尺寸效应,常常与公布的体材料的热特性很不相同。各国的研究人...
吕安新
关键词：MEMS自动测试系统LABVIEW
文献传递
微尺度薄膜热容测试技术
2010年
微纳米薄膜材料广泛应用于微纳器件中，因此微尺度薄膜热容测试技术对于微纳器件热设计十分重要。本文介绍了一种新型的用于薄膜热容测试的自对准双层悬空膜片结构——双层悬臂梁量热计，它主要应用于薄膜材料热容测量和微结构中的近场热辐射研究。同时介绍了双层悬臂梁量热计用于薄膜热容测试的几种测试方法，包括差式扫描量热法、热延迟时间法、脉冲量热法等。
吕安新余隽
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0