周大雨
- 作品数：50 被引量：9H指数：2
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金电子薄膜与集成器件国家重点实验室基础研究开放创新基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：一般工业技术化学工程理学金属学及工艺更多>>
- 一种采用低温煅烧锆溶胶制备二氧化锆纳米粉体的方法
- 本发明提供一种采用低温煅烧锆溶胶制备二氧化锆纳米粉体的方法。以水溶性锆无机盐为原料，溶于去离子水中；加入碱性沉淀剂生成悬浊液，经过离心或过滤获得沉淀；向沉淀中加入一元酸或一元酸与双氧水混合液，不断搅拌解胶后得到澄清的锆溶...
- 周大雨杨喜锐侯晓多高晓霞刘晓英陈国清
- 文献传递
- 衬底偏压对反应磁控共溅射Y:HfO_(2)薄膜电学性能的影响
- 2023年
- 作为微电子器件中最具发展前景的高介电薄膜材料,HfO_(2)薄膜得到了学者们的广泛研究。低漏电流是HfO_(2)薄膜使器件获得优良性能的前提,但易受晶粒尺寸、氧空位和粗糙度等因素影响。针对反应磁控溅射所得薄膜表面粗糙度高及漏电流密度大等缺点,本文在溅射过程中通过在衬底施加偏压的方法降低了HfO_(2)薄膜的漏电流密度。结果表明:通过在衬底施加适当的偏压使得Y掺杂HfO_(2)(Y∶HfO_(2))薄膜的漏电流密度降低到8×10-8 A/cm^(2)。漏电流密度的变化与薄膜粗糙度和晶粒尺寸有关,而薄膜粗糙度和晶粒尺寸主要受衬底偏压的影响,但衬底偏压对薄膜物相的影响可以忽略。通过施加衬底偏压,利用反应磁控溅射方法制备了低漏电流和高k值Y∶HfO_(2)薄膜,可为高性能器件的制备提供基础。
- 张伟奇孙纳纳周大雨
- 关键词：粗糙度
- 高性能微波陶瓷材料应用研究
- 杨传仁符春林陈宏伟周大雨唐宗熙黄春华王志红等
- 项目研究内容：研究微波高频段及毫米波段介质谐振器用高Qo微波陶瓷材料及其应用技术，为军用微波、毫米波电路提供实用化的高性能微波陶瓷材料。研究范围为钽镁酸钡(BaMgl/3Ta2/303，简称BMT)陶瓷材料及其应用技术，...
- 关键词：
- 关键词：电子陶瓷微波谐振器陶瓷介质谐振器
- 基因测序芯片的微电极及其制备方法、基因测序芯片
- 本申请实施例公开了一种基因测序芯片的微电极及其制备方法以及基因测序芯片，该微电极包括衬底、在所述衬底上形成的集流体层以及在所述集流体层上形成的电极层，所述集流体层包括过渡金属薄膜或其氮化物薄膜或过渡金属与其氮化物的复合薄...
- 苏云鹏周大雨孙纳纳顾佳烨
- 文献传递
- 钇掺杂量和膜厚对HfO_2纳米薄膜相结构的影响
- 2017年
- 二氧化铪(HfO_2)是广泛应用于微电子器件制备的电介质绝缘材料,其高介电系数四方相或立方相的稳定受掺杂元素含量和薄膜厚度的共同影响。采用纯水基溶胶-凝胶法在低阻硅基底上制备不同厚度的钇掺杂HfO_2薄膜,通过对薄膜晶相结构的X射线衍射分析,明确了四方/立方相在室温下稳定的临界钇掺杂量和临界膜厚条件,并对薄膜介电系数随晶相结构的演变以及漏电流进行了测试分析,研究结果对于HfO_2材料的微纳电容器件应用具有重要参考价值。
- 杨喜锐王雪霞周大雨徐进闫泳梁海龙
- 关键词：HFO2薄膜膜厚
- 介质滤波器全磁控溅射多层复合金属化方法
- 一种介质滤波器全磁控溅射多层复合金属化方法，属于通讯技术领域。首先对基体进行湿法清洗，干燥后置入真空腔内，采用等离子体对基体进行轰击处理；其次，在不脱离真空条件下磁控溅射沉积高活性的金属或过渡金属化合物作为粘附层；再次，...
- 周大雨孙纳纳秦广宇刘卓
- 一种采用全无机前驱体溶液制备二氧化锆基铁电薄膜的方法及应用
- 本发明提供了一种采用全无机前驱体溶液制备二氧化锆基铁电薄膜的方法及应用。首先以无机锆盐、无机高对称相稳定剂作为前驱体配制澄清透明的全无机二氧化锆基前驱体溶液；然后根据氧化锆基薄膜的厚度要求，可多次将前驱体溶液涂覆在经过标...
- 周大雨王静静董伟王雪霞马晓倩姚一凡李帅东
- 文献传递
- 一种钇掺杂二氧化铪铁电薄膜的制备方法
- 本发明属于材料制备领域，公开了一种钇掺杂二氧化铪铁电薄膜的制备方法。先使用标准的RCA清洗法，除去表面的杂质和脏污；然后以金属铪和钇作为靶材，在Ar和O<Sub>2</Sub>混合气氛中，采用反应磁控溅射，在基底上沉积钇...
- 周大雨孙纳纳徐进徐军张昱赵鹏
- 一种纳米氧化锆/环氧树脂复合材料及其制备方法
- 一种纳米氧化锆/环氧树脂复合材料及其制备方法属于材料制备技术领域。纳米氧化锆/环氧树脂复合材料包括氧化锆纳米粒子和环氧树脂，氧化锆纳米粒子能均匀分散在环氧树脂基体中，其添加量为环氧树脂的1～10wt％。方法包括：(1)采...
- 周大雨马晓倩彭聪杨旭王静静孙纳纳武湛君
- 基于冷冻铸造法制备二氧化钛多孔陶瓷
- 2023年
- 以冷冻铸造法制备TiO_(2)多孔陶瓷为背景,研究了冷冻速率、浆液浓度以及冷冻方式对TiO_(2)多孔陶瓷微观结构和力学性质各向异性的调控规律。结果表明:随着浆液浓度的增大(10vol.%~25vol.%),多孔陶瓷的孔隙率以及平均层间距均减小;冷冻速率主要通过影响冰晶的生长方式改变多孔陶瓷的平均层间距;双向冷冻铸造法制备TiO_(2)多孔陶瓷的过程中,随着楔角增大,多孔陶瓷的横截面组织取向性增强。随着浆液浓度和冷冻速率的增大,TiO_(2)多孔陶瓷沿不同方向的维氏硬度和抗压强度整体上均呈增大趋势,但不同方向的增幅不一;随着楔角增大(0°~20°),多孔陶瓷抗压强度的各向异性更加突出,表现在x方向的抗压强度从12.15MPa增至64.91MPa。制备的TiO_(2)多孔陶瓷在生物骨组织材料以及陶瓷过滤器等领域有着较大的应用潜力。
- 程子强陈彦辛禹赵泳淞邵昊然周大雨
- 关键词：二氧化钛微观结构力学性能各向异性
