孙艳
- 作品数：19 被引量：62H指数：5
- 供职机构：西安交通大学更多>>
- 发文基金：西安交通大学自然科学基金陕西省自然科学基金面向21世纪教育振兴行动计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学医药卫生更多>>
- 一种新的膜厚测试技术被引量：6
- 2002年
- 在“Y”型光纤一个端面上垂直放置涂有透明薄膜的基片 ,入射光在光纤—薄膜层—空气的界面处两次反射 ,由于两束反射光之间存在光程差 ,所以反射光发生干涉。不需要测量干涉条纹 ,仅通过对反射光谱的分析计算 ,可以测出薄膜的厚度以及折射率的数值。在单晶硅基片上做非晶的PSiO2 膜的甩膜实验中使用该方法测试PSiO2 膜的厚度 ,实验证明 ,该方法测量精度高、速度快 ,对薄膜无破坏作用。用卤素白光和红光的准单色光( 60 0nm～ 860nm)作为光源 ,膜厚范围为 0 5到几十微米 ,测量误差小于 4 0nm。进行了实验验证 。
- 孙艳孙锋杨玉孝谭玉山
- 关键词：光纤频谱光程差膜厚测试技术
- 内皮素-1及其基因多态性与过敏性紫癜的相关研究
- 孙艳
- 关键词：过敏性紫癜紫癜性肾炎内皮素-1血液灌流
- GPTS3.0通用自动测试系统软件平台被引量：3
- 2005年
- 介绍了以标准 ATLAS716编译器及 IVI COM 技术为核心的 GPIS 3.0通用自动测试系统软件平台,及其在自动测试中的具体应用。GPTS3.0平台以 IVI 技术为核心,为编写、运行和调试 ATLAS 测试程序提供工程集成环境,用户在工作区下创建编辑 ATLAS TPS 所需要的各部分内容,包括 ATLAS 源程序、各 ATLAS 模块,系统连线表,适配器连线表和虚拟资源分配文件,提高了开发效率。该软件平台是国内唯一使用 IVI 技术的软件平台,具有国际先进水平。
- 孙艳李明鸣赵宏陈宁
- 关键词：IVI技术
- 白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的研究被引量：4
- 2003年
- 文中提出了一种白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的方法。无需测量干涉条纹,通过对透明薄膜的反射光谱进行分析,可以测出薄膜的厚度。测试膜片上不同点的厚度,可以得到物体表面微观状貌。该方法测量精度高、对薄膜无破坏作用。薄膜厚度测量范围为0.2～小于20μm,无横向测试范围的限制。在对SiO_2薄膜的测试中,和椭圆偏振仪的测试结果相对照,纵向测量误差小于2nm。文中介绍的测试系统结构简单,测试精度高,测试结果可靠,具有较强的实用性。文章最后给出了对介质薄膜钛酸铅(PbTiO_3)表面的测试研究结果。
- 孙艳杨玉孝
- 关键词：光纤厚度电容器
- 高精度光纤膜厚测试系统的原理和实用性研究
- 该文从理论研究和实用的角度出发,对测试方法和测量仪器进行了深入的研究.论文第二章在薄膜光学的基础上分析了薄膜上下表面的反射所形成的干涉现象,给出了低折射率基底和高折射率基底条件下三种计算薄膜厚度的方法;在此基础上根据实际...
- 孙艳
- 关键词：白光干涉光纤智能结构
- 文献传递
- 光纤测厚中光谱“双峰”现象的分析被引量：4
- 2005年
- 在用反射干涉频谱法(Rifs)测量薄膜厚度的过程中,薄膜的反射光谱经常见到“双峰”现象,即相邻的波峰(或波谷)连在一起,区别于通常按吸收曲线有规律分布的光谱。对该现象进行了深入研究,结果表明:该现象和被测试处薄膜厚度不均匀有关,当厚度差异较大时,入射光在薄膜的不同厚度点发生反射,各点的反射干涉光谱叠加就会产生“双峰”的结果。对基本厚度为2 000 nm的聚苯乙烯薄膜的仿真结果表明:膜厚差异超过1/10,开始出现双峰。研究还表明,“双峰”现象并不影响厚度计算的准确度。
- 孙艳赵宏王昭
- 关键词：光谱光纤
- 一种主从系统数据交换设计
- 2006年
- 详细分析了主从式系统中双处理器数据交换的原理,提出了一种基于共享内存池传递数据的新方法。该方法数据传递效率高,具有良好的开放性,在多种视讯终端上应用良好。
- 李鸣明孙艳赵宏
- 关键词：数据链路层
- 光纤频谱仪测试膜厚的新技术研究被引量：7
- 2003年
- 在“Y”型光纤一个端面上垂直放置涂有透明薄膜的玻璃片 ,入射光在薄膜层的上下表面处两次反射 ,由于光程差的存在 ,反射光会发生干涉。不需要测量干涉条纹 ,根据 Fresnel反射定律 ,仅通过对反射光谱的分析计算 ,可以测出薄膜的厚度以及折射率。该方法测量精度高、速度快、对薄膜无破坏作用。膜厚测量范围为 0 .5至几十微米 ,测量误差小于 7nm。
- 孙艳孙锋杨玉孝谭玉山
- 关键词：厚度测量光程差
- 薄膜表面不平度对厚度测试准确度影响的研究被引量：2
- 2005年
- 在用反射干涉频谱法(Rifs)测量薄膜厚度的过程中,使用“Y”型光纤作为传光的媒介,光纤测试端发射出的光照射到薄膜上,反射光又回到了该光纤中。对反射光进行频谱分析可以计算出薄膜测试处的厚度。由于是光学非接触式测量,而光束又有发散性,所以薄膜的表面不平度以及光纤相对于薄膜的位置直接影响测试的准确度。对该现象的研究表明:为提高测试准确度,必须尽量减少光纤的有效照射面积,以及保证薄膜基底的光滑,给出了具体方法。为保证薄膜上的反射光束能够回到光纤内部而不丢失厚度信息,给出了薄膜微观倾斜的极限角度。给出了光纤测试薄膜中“平均厚度”和“有效照射面积”的构想。
- 孙艳赵宏王昭
- 关键词：光纤
- 光纤白光干涉法与膜厚纳米测量新技术研究被引量：13
- 2003年
- 运用薄膜光学干涉原理、光纤技术和干涉光谱分析技术 ,用光纤反射式干涉光谱仪(ReflectromicInterferenceSpectroscopy)直接测试宽带入射光在单晶硅表面超薄SiO2膜层前后界面反射形成的干涉光谱曲线 ,并用专业软件对被测光谱信号数据处理后 ,可直接用公式准确计算出SiO2氧化膜的厚度和光学折射率 通过对单晶硅片表面超薄SiO2氧化膜的实测 ,并与成熟的椭圆偏振仪测试结果相比 ,测试误差≤ 2nm 但该方法测试简单、快速 ,精度高 ,不需要制定仪器曲线和数表 ,可对薄膜任意位置的厚度在线测试 经过对不同厚度聚苯乙烯薄膜的厚度测试表明 ,该方法适合 0 .5～ 2 0 μm薄膜厚度的精确在线测量 ,测量误差小于 7nm .
- 杨玉孝熊开利孙艳谭玉山
- 关键词：无损检测
