张德景
- 作品数：4 被引量：8H指数：2
- 供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术机械工程更多>>
- 离子辅助沉积对ZnS/MgF2窄带滤光片光谱漂移的影响
- 采用霍尔源离子辅助沉积（IAD）技术制备了ZnS/MgF2多层膜窄带干涉滤光片,并与常规沉积条件下制备的样品做了比较。发现离子辅助明显地的减小了滤光片的光谱漂移（Δλ）,实测漂移Δλ＜0.5nm,光谱稳定性得到很大提高。...
- 鲁法珂顾培夫张德景
- 关键词：离子辅助沉积
- 文献传递
- 离子辅助沉积对薄膜特性的影响
- 该论文的主要工作是对常规工艺下和离子辅助条件下沉积的薄膜的特性进行比较研究,研究的薄膜包括单层膜和多层膜.1.单层膜的研究研究的单层膜为TiO2、Ta2O5、Nb2O5等氧化物介质薄膜,对比研究了常规工艺下和离子辅助条件...
- 张德景
- 关键词：离子辅助沉积附着力窄带滤光片
- 文献传递
- 离子辅助沉积对ZnS/MgF_2滤光片光谱漂移的影响被引量：3
- 2004年
- 采用霍尔源离子辅助沉积(IAD)技术制备了ZnS/MgF2多层膜窄带干涉滤光片,并与常规沉积条件下制备的样品作比较.结果发现离子辅助沉积明显减小了滤光片的光谱漂移,实测漂移小于0.5nm,光谱稳定性得到很大提高.计算了滤光片中MgF2膜层的聚集密度,离子辅助沉积使MgF2膜的聚集密度从常规条件下的0.70提高到0.97,增幅达38%.间隔层对光谱漂移的影响最大,越远离间隔层的膜层,其影响越小.
- 鲁法珂顾培夫张德景
- 关键词：离子辅助沉积窄带滤光片
- 离子辅助沉积对Nb_2O_5薄膜特性的影响被引量：2
- 2004年
- 为了提高Nb2O5薄膜的聚集密度,改善氧化铌薄膜的光学特性和机械特性,采用霍尔源离子辅助沉积(IDA)技术在K9玻璃基板上制备了Nb2O5单层薄膜,并与常规沉积条件下制备的Nb2O5薄膜作了比较.由于IAD技术使Nb2O5膜的聚集密度提高了14%,膜层折射率从常规工艺的2.03上升到2.18,膜层的附着力和牢固度从常规工艺的1.0×107N/m2提高到129.7×107N/m2.
- 张德景李明宇顾培夫
- 关键词：离子辅助沉积附着力
