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张效翔

作品数：2 被引量：6H指数：1
供职机构：上海大学机电工程与自动化学院更多>>
发文基金：上海市科学技术委员会资助项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇微谐振器
  • 1篇谐振器
  • 1篇非线性动力
  • 1篇非线性动力学
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇上海大学

作者

  • 1篇于茂华
  • 1篇张效翔
  • 1篇谢明春
  • 1篇高嵘
  • 1篇王敏
  • 1篇王小静

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
计入空气阻尼的MEMS微谐振器非线性动力学研究被引量：6
2006年
针对横向振动MEMS微谐振器,计入非线性空气阻尼力,对微谐振器非线性动力学特性进行研究。建立微谐振器非线性动力学模型,计入滑移边界条件和稀薄气体效应,利用FLUENT和MATLAB对Navier-Stokes方程和动力学方程进行求解。经过与国外实验对比,可得出考虑非线性阻尼力的平板振幅值非常接近实验值,振幅峰-峰值误差仅为6%,且优于线性动力学的分析结果。为MEMS器件非线性动力学特性分析提供理论依据。
高嵘王小静张效翔王敏于茂华谢明春
关键词：非线性动力学微谐振器MEMS
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