徐向东
- 作品数:143 被引量:360H指数:11
- 供职机构:中国科学技术大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家科技重大专项更多>>
- 相关领域:机械工程理学电子电信一般工业技术更多>>
- 全息离子束刻蚀衍射光栅制作
- 本文着重介绍真空紫外闪耀光栅、软X射线Laminar光栅和软X射线自支撑透射光栅的全息离子束刻蚀制作技术,给出相应的研制结果.
- 徐向东洪义麟刘颖傅绍军
- 关键词:全息光刻离子束刻蚀衍射光栅
- X射线光学进展被引量:3
- 1998年
- X射线光学的发展,有利于X射线分析技术的进一步发展,进而提高人们的认识水平.本文从X射线光源、光学元件和应用领域几方面来概述X射线光学的最新进展.
- 徐向东付绍军张允武
- 关键词:X射线光学元件
- X射线毛细管及其应用被引量:7
- 1999年
- 介绍了X射线毛细管光学元件的原理、特征和类型及其在蛋白质晶体学、微束衍射、微束光谱等方面应用新进展.
- 徐向东洪义麟付绍军张允武
- 关键词:X射线衍射毛细管光学元件
- 具有高衍射效率的大口径薄膜衍射元件的制作方法
- 为了解决目前在大口径薄膜衍射元件制备工艺中存在的技术难题,本发明提供了一种具有高衍射效率的大口径薄膜衍射元件的制作方法,包括5个步骤:步骤1为多台阶浮雕结构石英基底制作,步骤2为聚合物溶液的涂覆,步骤3为聚合物溶液的固化...
- 张健刘正坤邱克强徐向东付绍军
- 软X射线偏折仪用自支撑莫尔光栅研制被引量:1
- 2005年
- 介绍了莫尔光栅制作的主要方法和进展。利用紫外光刻、离子束刻蚀技术制作自支撑金莫尔光栅,讨论了金膜厚度要求、电镀金膜质量和光栅占空比控制等影响莫尔光栅质量的关键技术问题。实验结果表明,通过设计较小占空比的光栅掩模、紫外光刻时擦除基片边缘的光刻胶棱以消除衍射效应、离子束刻蚀时基片倾斜一定的角度旋转刻蚀等措施可以改善自支撑金莫尔光栅的占空比。
- 徐向东洪义麟刘颖傅绍军王占山
- 关键词:软X射线激光紫外光刻离子束刻蚀
- 全息平面变间距光栅线密度分布方程系数研究
- 2006年
- 简述全息变间距光栅几何理论,通过分析其线距变化系数,研究了全息记录参数对线密度分布方程系数的约束,给出了使全息记录得到的线密度分布方程与期望方程相吻合的必要条件。同时还给出了遗传算法优化计算后的误差曲线,并对理论分析进行了验证,计算结果与理论分析相吻合。
- 楼俊刘正坤徐向东付绍军
- 关键词:全息线密度遗传算法
- 石英和BK7玻璃的离子束刻蚀特性研究被引量:8
- 2004年
- 石英和BK7玻璃是常用的光学材料和微系统材料。用Ar作为工作气体对石英和BK7玻璃及其掩模材料AZ135 0的离子束刻蚀特性进行了研究 ,分析了离子能量、离子束流密度和离子束入射角等几种因素对刻蚀速率和选择比的影响 ,结合相关理论得到了相应的刻蚀速率拟合方程。AFM测量结果表明刻蚀工艺对材料的低损伤。由于与光刻胶的刻蚀选择比较低 ,随着石英和BK7玻璃刻蚀深度的增加 ,图形转移精度下降。因此提高刻蚀选择比是获得高分辨率图形的前提。
- 王旭迪王旭迪刘颖徐向东洪义麟
- 关键词:BK刻蚀速率离子束刻蚀刻蚀工艺刻蚀深度光学材料
- 位相型朗奇光栅槽深的光学检测方法
- 本发明位相型朗奇(Ronchi)光栅槽深的光学检测方法。解决了对于周期远大于其工作波长的位相型朗奇光栅槽深的精确检测。本发明包括:1、利用光谱仪记录工作光源的初始光谱曲线I<Sub>s</Sub>(λ);2、工作光源的出...
- 刘颖付绍军刘正坤徐向东洪义麟
- 合肥同步辐射软X射线显微术研究被引量:4
- 1996年
- 合肥国家同步辐射实验室首期建设的光束线之一用于软X射线显微成像研究.实验站上现已装置初型的扫描透射X射线显微镜,并正在进行新一代的扫描显微镜建设,同时还使用同步辐射光进行接触软X射线显微成像研究,并对选取的一些生物样品进行了成像试验.本文介绍合肥同步辐射光源上软X射线显微术实验线站的建设及完成的一些实验结果.
- 谢行恕贾成芝赵永飞徐向东蒋诗平
- 关键词:软X射线显微术
- 一种软X射线双频光栅剪切干涉系统
- 本发明提供一种软X射线双频光栅剪切干涉系统,其采用了一种双频光栅作为软X射线剪切干涉元件,利用掠入射条件下,该光栅的两组-1级衍射光束自剪切干涉,对穿过等离子体的X射线激光的波前检测。该剪切干涉仪中采用两个多层膜球面镜的...
- 刘正坤邱克强刘颖徐向东付绍军