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时方晓
作品数:
4
被引量:2
H指数:1
供职机构:
清华大学理学院化学系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
一般工业技术
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合作作者
曹立礼
清华大学理学院化学系
姚文清
清华大学理学院化学系
董宇辉
中国科学院物理研究所
叶小燕
清华大学理学院化学系
朱永法
清华大学理学院化学系
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作者
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时方晓
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2篇
真空科学与技...
年份
1篇
1998
3篇
1997
共
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用扫描俄歇微探针研究Au-Ag/Si体系异质界面电迁移
1997年
应用自建的超高真空原位装置及扫描俄歇微探针(SAM)技术,研究了AU-Ag/Si体系的表面电迁移现象。观测到清洁St表面上的Au/Ag/Si和Ag/Au/Si复层薄膜在直流电场作用下呈现明显的两相分离,Au,Ag分别向着外加电场的正极和负极方向快速迁移扩展,总的迁移速率对Au/Ag/Si约为0.63μm/s而对Ag/An/Si为0.37μm/s。实验结果表明,复合膜的结构,即其形成次序虽不影响An,Ag各自原有的电迁移方向,但影响其迁移扩散机制。并对上述现象及其相应的微观机制进行了初步分析。
时方晓
姚文清
曹立礼
关键词:
电迁移
俄歇分析
真空技术
半导体器件
Ar^+离子辐照对碳纳米管电子结构的影响
1997年
应用XPS和AES研究了碳纳米管结构稳定性。结果表明:低能电子束辐照不会改变碳纳米管的电子结构;相反,低能Ar+离子束即使辐照强度低到0.2mA/cm2,也会引起碳纳米管电子结构的明显变化。
曹立礼
时方晓
朱永法
关键词:
碳纳米管
电子结构
XPS
AES
氩离子
纳米碳管
电场对Au/SiO_2及Au-Ag/SiO_2表面结构与原子迁移特性的影响
1997年
利用扫描俄歇微探针(SAM)和原子力显微镜(AFM)研究了SiO2衬底上在外加直流电场作用下沉积的Au薄膜及Au-Ag复层薄膜的表面形貌、结构变化及电迁移扩散行为。结果表明:①在衬底表面施加水平方向电场辅助沉积制备的Au薄膜其表面显示出平整的椭球形晶粒,并沿外电场方向呈织构取向。与未加电场的热蒸发沉积膜相比,具有较为均匀、有序的表面微观结构。②SiO2表面Au-Ag复层薄膜在直流电场作用下,Au,Ag物种同时向负极方向作走向迁移扩散,这与Au-Ag复层薄膜在Si(111)表面电迁移时Au,Ag分别向两极扩散的特点不同,反映了衬底性质对表面原子电迁移的影响。③Au-Ag复膜在电迁移过程中还发生了表面原子聚集状态的变化,原来沉积排布的细小晶粒在电迁移扩散过程中出现不均匀长大,导致薄膜表面粗糙度显著增加。
时方晓
曹立礼
关键词:
SAM
金
表面形貌
电迁移
电场对Au-Ag薄膜结构影响的AFM和VAXPS研究
被引量:2
1998年
利用原子力显微镜(AFM)和变角X射线光电子谱(VAXPS)技术研究了Au-Ag/SiO2体系在直流电场作用下,Au、Ag电迁移的特点及所引起的薄膜结构的变化。观察到较低温度下Au、Ag聚集状态的显著变化。发现电迁移过程中Au-Ag薄膜与SiO2基底之间存在界面化学反应,膜层中Au、Ag、Si等元素的化学状态发生了相应的变化。这些结果表明SiO2表面上Au-Ag复合薄膜电迁移不只是一个水平方向的扩散,而是一个复杂的物理化学过程。在此基础上提出了电场作用下Au-Ag薄膜迁移扩散反应机制。
时方晓
叶小燕
姚文清
曹立礼
董宇辉
关键词:
电迁移
AFM
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