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曹健林

作品数：11 被引量：30H指数：4
供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信核科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 7篇理学
  • 3篇机械工程
  • 2篇电子电信

主题

  • 6篇软X射线
  • 4篇多层膜
  • 3篇激光
  • 3篇光学
  • 2篇信号
  • 2篇信号处理
  • 2篇信号处理系统
  • 2篇软X射线多层...
  • 2篇数据采样
  • 2篇陀螺
  • 2篇陀螺稳定
  • 2篇陀螺稳定平台
  • 2篇海基
  • 2篇海平
  • 2篇海平面
  • 2篇采样
  • 1篇氮化镓
  • 1篇元件
  • 1篇正入射
  • 1篇入射

机构

  • 10篇中国科学院长...
  • 1篇大连铁道学院
  • 1篇日本东北大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇长春煤炭科技...

作者

  • 10篇曹健林
  • 5篇马月英
  • 4篇陈星旦
  • 3篇高宏刚
  • 3篇吕俊霞
  • 2篇王希军
  • 2篇王占山
  • 2篇张俊平
  • 1篇乐孜纯
  • 1篇姚劲松
  • 1篇李福田
  • 1篇梁静秋
  • 1篇叶露
  • 1篇沈长斌
  • 1篇苗春安
  • 1篇翁志成
  • 1篇钱莉民
  • 1篇陈波
  • 1篇陈斌
  • 1篇谢伦

传媒

  • 3篇光学学报
  • 2篇原子能科学技...
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2004
  • 1篇2001
  • 2篇1999
  • 2篇1998
  • 1篇1997
  • 1篇1996
  • 1篇1994
  • 1篇1990
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
正入射Mo/B_4C软X射线多层膜被引量：4
1998年
采用Ｍｏ／Ｂ４Ｃ材料在短波长波段（λ＜１０．０ｎｍ）进行软Ｘ射线多层膜实验研究。在指定波长（８．０ｎｍ附近）处对多层膜进行结构设计，并制备出了周期结构准确的Ｍｏ／Ｂ４Ｃ多层膜样品。
吕俊霞马月英张俊平曹健林
关键词：软X射线多层膜正入射薄膜光学
软X射线多层膜色散元件被引量：4
1994年
介绍研制软Ｘ射线多层膜色散元件的初步结果．结合Ｍ_０／Ｓ_１、Ｗ／Ｓｉ色散元件的研制实例，讨论了包括设计、性能模拟计算、镀膜工艺、检测等在内的制备过程．这些元件将在Ｘ射线光学和Ｘ射线光谱学的有关研究工作中得到应用．
曹健林马月英张俊平高宏刚王占山裴舒陈星旦
关键词：软X射线
高精度便携式海基激光测深方法及装置
本发明涉及对测量海水深度方法及装置的改进。在动态海水表面固定激光入射角度，产生测试数据的控制信号；动态平均及固定测量水平基准与海平面的距离；对激光入射点海水表面和测量基准水平保持在与铅垂线垂直的方向时进行数据采样。装置包...
王希军曹健林
文献传递
X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形制作技术研究被引量：3
1998年
本文研究Ｘ射线Ｂｒａｇｇ－Ｆｒｅｓｎｅｌ元件中衍射图形的制作技术。介绍了衍射图形制作技术方案的确定，金属吸收层厚度的计算，制作技术工艺流程及衍射图形测试结果。
乐孜纯梁静秋姚劲松李春叶露曹健林邢红梅
关键词：X射线
软X射线(60～900eV)超薄膜的光学常数被引量：7
1990年
用反射率方法测定了软X射线波段(60～900eV)超薄膜的光学常数.反射率测量在同步辐射光束线上完成.对测量数据做非线性最小二乘曲线拟合得出光学常数,同时还精密确定了超薄膜的膜厚与薄膜与基板表面粗度的均方根值.文中介绍了样品制备、反射率测量、数据解析及误差分析的方法,并给出了C、Au、Pt超薄膜的相应结果.
曹健林陈星旦柳原美广山本正树波冈武
关键词：软X射线超薄膜光学常数反射率
GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验被引量：7
1997年
主要介绍了作为发光半导体ＧａＮ衬底材料的ＬｉＧａＯ２单晶超精密抛光方法及初步结果。利用聚氨酯抛光盘配合ＳｉＯ２悬浮液，采用机械化学抛光方法，已加工出表面粗糙度优于０．１ｍｍ，的超光滑表面。
谢伦高宏刚陈斌曹健林王建明刘琳
关键词：表面粗糙度晶体氮化镓
高精度便携式海基激光测深方法及装置
本发明涉及对测量海水深度方法及装置的改进。在动态海水表面固定激光入射角度,产生测试数据的控制信号;动态平均及固定测量水平基准与海平面的距离;对激光入射点海水表面和测量基准水平保持在与铅垂线垂直的方向时进行数据采样。装置包...
王希军曹健林
文献传递
软X射线光学技术
陈星旦曹健林李福田马月英陈波钱莉民苗春安翁志成韩昌元
X射线发现(1895年)100周年了。硬X射线(波长在1纳米以下)获得了许多重要应用，而软X射线(波长范围1-30纳米)直到近一，二十年才得到发展。其中主要原因之是受光学技术的限制。目前，由于光学技术的进步，软X射线已能...
关键词：
关键词：测试系统摄谱仪
软X射线多层膜技术被引量：6
1999年
软 Ｘ 射线多层膜技术是目前工程光学和应用光学中的一个热点。用多层膜可以组成类似于可见光波段的各种软 Ｘ 射线光学仪器，如望远镜、显微镜、投影光刻系统和光谱仪器等。文章简要介绍长春光学精密机械研究所近年来软 Ｘ 射线多层膜技术的研究概况。
王占山高宏刚马月英吕俊霞曹健林
关键词：软X射线多层膜
8.0nm X射线激光反射镜Mo/B-4C多层膜制备及其特性被引量：1
1999年
用磁控溅射法制备工作波长约８０ ｎｍ 的 Ｍｏ／ Ｂ４ Ｃ多层膜作为正入射短波长（λ＜ １０．０ ｎｍ ）软 Ｘ 射线激光反射腔的反射镜。经 Ｘ 射线衍射仪和 Ｔ Ｅ Ｍ 检测，多层膜周期结构准确，热稳定性高。
吕俊霞马月英裴舒沈长斌曹健林陈星旦
关键词：软X射线多层膜磁控溅射法激光反射镜膜系
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