李建华
- 作品数：31 被引量：19H指数：4
- 供职机构：南京理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学交通运输工程更多>>
- 含有C-Si键的甲基二苯基硅烷类化合物的合成方法
- 本发明公开了一种含有C‑Si键的甲基二苯基硅烷类化合物的合成方法。所述方法为在硝酸银的催化作用下，以过硫酸钾为氧化剂，乙腈为溶剂，将二甲基苯基硅羧酸、含炔或烯烃的化合物为混合后采用一锅法50℃～100℃反应得到含C‑Si...
- 姜超汪涛李建华
- 文献传递
- 基于MEMS技术的新型太赫兹混频器设计与制作被引量：4
- 2015年
- 混频器是太赫兹器件中传输信号的基本元件,具有重要的研究价值。介绍了一种以MEMS工艺为基础的新型的太赫兹混频器设计和加工工艺。该太赫兹混频器采用具有高介电常数SU-8光刻胶作为介质层,然后在SU-8胶介质层上进行光刻、电镀微带线,实现了采用正负胶结合的牺牲层工艺加工制作出了太赫兹混频器。
- 李建华徐立新陈和峰王凤芹付博
- 关键词：混频器太赫兹MEMS微带线
- 阶梯梁式高Q值抗过载MEMS悬浮电感
- 本发明公开了一种阶梯梁式高Q值抗过载MEMS悬浮电感。电感由阶梯梁式悬浮螺旋线圈、电连接立柱和引线组成，通过采用阶梯式线圈导线改善了MEMS悬浮电感的抗过载性能。制作工艺为：清洗基片；基片背面溅射Cr，涂光刻胶，图形化后...
- 卢冲赢徐立新付博李建华丛琳韩琦王刚
- 文献传递
- 抗过载片上集成MEMS悬浮螺旋电感被引量：1
- 2015年
- 针对微机电系统(MEMS)悬浮电感机械性能较差问题,设计了一种应用于高过载环境的片上集成MEMS悬浮螺旋电感。通过采用一种新颖的阶梯式螺旋线圈结构,有效减小了悬浮线圈在高过载环境中的变形与应力。利用ANSYS和HFSS软件对设计的电感力学性能和射频性能进行联合仿真。仿真结果表明,采用阶梯式螺旋线圈的MEMS悬浮电感的抗过载能力比采用等截面线圈的传统MEMS悬浮电感提高了近3倍,并且具有相当的射频性能;与增加了支撑柱的等截面MEMS悬浮电感相比,所设计的MEMS悬浮电感具有与之相当的力学性能,但是其射频性能明显优于增加了支撑柱的电感。
- 李建华卢冲赢徐立新武浩
- 关键词：微机电系统过载
- 合成[b]-环化吲哚类衍生物的方法
- 本发明公开了一种合成[b]‑环化吲哚类化合物的方法，其步骤为：在钯催化剂的作用下，以降冰片烯作为瞬态导向介质，以二卤代烷烃作为烷基化试剂，在碱的作用下，一锅煮先后实现吲哚C2，C3位烷基化关环的多米诺反应，有效地合成[b...
- 姜超李建华高亚东
- 一种以SU-8胶为回流焊阻焊层的MEMS元件低温封装方法
- 本发明涉及一种以SU‑8胶为回流焊阻焊层的MEMS元件低温封装方法，属于微制造加工领域。方法为：(1)准备玻璃晶圆片；(2)在玻璃晶圆片上溅射Cr/Cu种子层；(3)涂覆AZP4620光刻胶并进行曝光；(4)电镀Cu生成...
- 李建华陈玉龙徐立新李夷渊陈佳文
- 文献传递
- 基于DSP的MEMS惯性导航系统的数据处理算法
- 李建华
- 关键词：数字信号处理器四元数法
- 一种Pt电阻温度传感器的制造方法
- 本发明公开了一种Pt电阻温度传感器的制造方法，包括以下步骤：1）在陶瓷衬底上涂覆SU-8光刻胶，光刻出微结构图形；2）在光刻完成的陶瓷基片上用磁控溅射的方法沉积Pt金属；3）将上述得到的陶瓷基片在O<Sub>2</Sub...
- 李建华徐立新卢冲赢
- 文献传递
- 一种非晶丝GMI磁传感器及其制作方法
- 本发明涉及一种非晶丝GMI磁传感器及其制作方法，属于磁传感器技术领域。制作步骤为：(1)低阻硅片；(2)氧化形成SiO2绝缘层；(3)溅射Cr/Cu薄膜作为种子层；(4)腐蚀Cr/Cu种子层；(5)深硅刻蚀；(6)将非晶...
- 李建华邹乔方徐立新
- 文献传递
- SU-8去胶工艺对电铸Ni材料力学性能的影响（英文）
- 2016年
- SU-8负胶具有优异的力学性能、抗化学腐蚀性、热稳定性和生物兼容性,在MEMS工艺和器件中得到广泛应用。镍金属具有良好的力学性能和抗腐蚀性,因此常用来制作MEMS器件。在MEMS执行器中,弹性元件常采用电铸镍制作。SU-8经过经曝光显影后形成致密的交联网络结构是一种高分子聚合物,这种聚合物非常稳定,不溶于强酸强碱及常见的有机溶剂,尤其是在电铸金属结构后的SU-8胶的去除更为困难。目前的SU-8去胶技术,按去胶原理可分:机械物理去胶技术和氧化去胶技术。氧化去胶技术可以有效去除SU-8胶,但氧化去胶方法不同程度地损坏电铸金属,使其力学性能与去胶前相比发生显著的变化。因此需要研究去胶对Ni金属弹性模量的影响,从而为执行机构设计提供准确的基本数据。针对目前运用比较普遍的两种去除SU-8胶方式:微波等离子下游化学刻蚀和强碱熔盐浴,分别进行了去胶实验,对去胶前后的电铸Ni金属进行了弹性模量和硬度测试。实验结果表明,电铸镍的杨氏模量在经过微波等离子下游化学刻蚀后下降18%,而经过强碱熔盐浴后下降36%,但硬度下降不明显。
- 李建华付博欧修龙
- 关键词：SU-8电铸镍DCE
