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段萱苡

作品数：11 被引量：10H指数：1
供职机构：浙江大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 5篇热式
  • 5篇感器
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 4篇风速计
  • 3篇单晶
  • 3篇单晶硅
  • 3篇氮化硅
  • 3篇氮化硅膜
  • 3篇电极
  • 3篇一体化
  • 3篇探头
  • 3篇热电堆
  • 3篇流速传感器
  • 3篇金属连线
  • 3篇硅膜
  • 3篇横膈
  • 3篇横膈膜
  • 3篇半导体电极
  • 2篇电路

机构

  • 11篇浙江大学

作者

  • 11篇段萱苡
  • 10篇杨华勇
  • 10篇谢海波
  • 10篇傅新

传媒

  • 1篇传感器技术

年份

  • 2篇2007
  • 4篇2006
  • 5篇2005
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
测热式微型流量传感器
本实用新型公开了测热式微型流量传感器。在单晶硅衬底上，自下至上依次设有二氧化硅绝热膜、含有加热元件和热电堆半导体电极构成的单晶硅膜、二氧化硅隔离层，热电堆金属电极、金属连线和焊点，氮化硅膜；或在单晶硅衬底中间填充有硅胶填...
傅新谢海波杨华勇段萱苡
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测热型和风速计一体化流速传感器
本实用新型公开了一种测热型和风速计一体化流速传感器。在沟槽封装层自下而上依次装有腐蚀形成横截面为梯形沟槽的硅衬底、横膈膜、一组电阻相同的复合金属丝阵列、盖在复合金属丝阵列上的金属丝封装层，复合金属丝阵列以中心一条加热丝为...
傅新谢海波段萱苡杨华勇
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测热型和风速计一体化流速传感器
本发明公开了一种测热型和风速计一体化流速传感器。在沟槽封装层自下而上依次装有腐蚀形成横截面为梯形沟槽的硅衬底、横膈膜、一组电阻相同的复合金属丝阵列、盖在复合金属丝阵列上的金属丝封装层，复合金属丝阵列以中心一条加热丝为轴对...
傅新谢海波段萱苡杨华勇
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热脉冲时差式流量检测方法
本发明公开了一种热脉冲时差式流量检测方法。将传感器放入与流速方向平行的管道中，对加热测温元或者加热元提供脉冲供电，产生脉冲电流，测量加热测温元或者表征加热元温度的测温元的温度变化，得到加热测温元或者表征加热元温度的测温元...
傅新谢海波段萱苡杨华勇
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微型热式液体流量传感器的设计被引量：10
2005年
设计了新型的微型热式液体流量传感器。它将测热式工作原理和热膜式工作原理结合起来,在精确测量小流量的同时,兼具较大的动态测量范围。该传感器利用MEMS工艺,在两层聚对二甲苯横膈膜中制作出极细的铂电阻丝,通过测量铂电阻丝随温度的变化来获得流量的信息。阐述了传感器的测量原理和微加工工艺流程,并对工作模式进行了流场温度场仿真,对该传感器的进一步优化提供了参考。
段萱苡谢海波傅新杨华勇
关键词：流量传感器
一种测热式微型流量传感器
本发明公开了一种测热式微型流量传感器。在单晶硅衬底上，自下至上依次设有二氧化硅绝热膜、含有加热元件和热电堆半导体电极构成的单晶硅膜、二氧化硅隔离层，热电堆金属电极、金属连线和焊点，氮化硅膜；或在单晶硅衬底中间填充有硅胶填...
傅新谢海波杨华勇段萱苡
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基于二次温度差分原理的测热型质量流量检测方法
本发明公开了一种基于二次温度差分原理的测热型质量流量检测方法。将加热器垂直于流动方向放入一维流动的流体之中，温度传感元件沿流动方向对称分布在加热器两侧，分别位于加热器的上游位置和下游位置；当流体流动时，位于加热器上游的温...
傅新谢海波段萱苡杨华勇
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测热型和风速计一体化流速传感器
本发明公开了一种测热型和风速计一体化流速传感器。在沟槽封装层自下而上依次装有腐蚀形成横截面为梯形沟槽的硅衬底、横膈膜、一组电阻相同的复合金属丝阵列、盖在复合金属丝阵列上的金属丝封装层，复合金属丝阵列以中心一条加热丝为轴对...
傅新谢海波段萱苡杨华勇
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测热式和风速计一体化传感器的研究
微型机电系统技术在经过二十多年的研究后，逐步开始应用于传统工业领域。其中开发可应用于常规工业领域的微型传感器成为该领域的研究重点。本论文着重阐述了应用于工业领域的微型热式流量传感器的设计与实现。 对于应用于常规...
段萱苡
关键词：微型传感器流量传感器风速计玻璃衬底
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一种测热式微型流量传感器
本发明公开了一种测热式微型流量传感器。在单晶硅衬底上，自下至上依次设有二氧化硅绝热膜、含有加热元件和热电堆半导体电极构成的单晶硅膜、二氧化硅隔离层，热电堆金属电极、金属连线和焊点，氮化硅膜；或在单晶硅衬底中间填充有硅胶填...
傅新谢海波杨华勇段萱苡
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