池凌飞
- 作品数：26 被引量：138H指数：7
- 供职机构：汕头大学理学院物理系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划广东省高等教育教学改革项目更多>>
- 相关领域：理学电子电信文化科学一般工业技术更多>>
- 等离子体化学气相沉积参量对Ar等离子体电子特性的影响被引量：2
- 2004年
- 采用加热的调谐单探针技术,研究了射频辉光放电Ar等离子体空间电子能量分布函数,电子平均能量和电子密度,并系统分析了等离子体增强化学气相沉积工艺参量对等离子体空间电子特性的影响。
- 魏俊红林璇英赵韦人池凌飞余云鹏林揆训黄锐王照奎余楚迎
- 关键词：等离子体化学气相沉积
- 射频辉光放电等离子体的电探针诊断及数据处理被引量：16
- 2000年
- Langmuir探针是等离子体诊断的一个重要方法 .对探针I V曲线进行求解二次微商是获得等离子体中的电子能量分布函数的关键 .由Fourier变换导出一个求解微商的数值解方法 .克服了现有方法所存在的缺点 .实现了对探针I V曲线求解二次微商的精确、自动运算 .测量了硅烷射频辉光放电等离子体的平均电子能量 (温度 )和浓度随放电功率的变化 .
- 姚若河池凌飞林璇英石旺舟林揆训
- 关键词：数据处理
- 射频辉光放电等离子体 Langmuir 单探针诊断
- 池凌飞
- 氩直流辉光放电等离子体中电子运动及能量的模拟被引量：5
- 2004年
- 采用自动调节时间步长的蒙特卡罗模拟,对平行板放电系统中的氩气直流辉光放电系统中的等离子体区内电子的运动过程进行了跟踪和抽样。统计结果表明:在我们的实验条件下,等离子体中的电子在电场作用下出现明显的轴向漂移;在40000次抽样中,出现能量为E的电子数目随能量E增大呈下降趋势,场强增大将引起能量分布展宽和电子平均能量增加;即使场强达到15V·cm-1,等离子体激发和电离仍是很少的;场强和气压都能明显改变电子的平均自由程。
- 余云鹏林舜辉林旭升池凌飞林璇英林揆训
- 关键词：辉光放电等离子体电子运动电子能量蒙特卡罗模拟
- Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理被引量：51
- 2001年
- Langmuir探针是诊断等离子体参数的重要手段 .报道了在氩气射顿 (13 5 6MHz)辉光放电等离子体中使用调谐单探针进行诊断 ,对探针I V特性曲线的统计噪声进行了数字滤波的光滑化处理 ,而后求二次微商 .在相同的放电条件下 ,使用自行设计的微分电路 ,对探针特性二次微商进行在线测量 .这两种方法得到的二次微商结果能够较好地符合 .
- 池凌飞林揆训姚若河林璇英余楚迎余云鹏
- 关键词：LANGMUIR探针微分电路数据处理等离子体
- 锡掺杂氧化铟纳米线的制备及场发射性能研究被引量：1
- 2015年
- 由于晶格失配,使得直接在硅衬底上生长有序的锡掺杂的氧化铟(ITO)一维纳米阵列非常困难.本文使用化学气相沉积法,利用升温过程中形成的ITO颗粒为生长点,成功地在硅衬底上制备出排列有序的氧化铟锡(ITO)一维纳米结构.对生成物进行了扫描电子显微镜(SEM),X射线能量色散谱(EDS)和X射线衍射(XRD)表征;对其进行的场发射性能测试表明,ITO纳米线阵列的场增强因子大约为1 600,有望在冷阴极材料领域得到应用.
- 胡小蔚池凌飞冼志科
- 关键词：化学气相沉积场发射性能
- 光滑曲面的硅微透镜列阵形成机理研究
- 2002年
- 采用碱性腐蚀的典型微机械加工法 ,制备出了光滑曲面的硅微透镜列阵 ,对试验样品进行了轮廓曲线测试 ,计算出了该腐蚀工艺的快腐蚀面 .重点研究了微透镜列阵凹面的形成机理 ,提出了与试验测试结果相吻合的解释模型 .该模型对微光学透镜的设计加工具有重要指导意义 .
- 朱维安池凌飞
- 关键词：光滑曲面微光学器件硅微机械
- 热丝法制备氧化钨纳米结构及其场致电子发射特性研究
- 氧化钨是一种重要的功能材料，以氧化钨薄膜为核心的器件已经在电致变色、气致变色和气体传感器等领域得到了广泛应用。由于氧化钨纳米结构具有非常独特的物理化学特性，可望在冷阴极、气体传感器、显示单元等新型器件中获得应用，因此引起...
- 池凌飞
- 关键词：氧化钨场致电子发射纳米材料
- 文献传递
- 射频辉光放电等离子体中电子能量的单探针诊断
- 等离子体化学气相淀积是制备现代功能薄膜的重要工艺.射频辉光放电等离子体的特点是电子能量分布范围较宽.所以诊断和控制等离子体参数,就成为研究薄膜沉积机理的关键性问题.在多种诊断等离子体的方法中,最简单、最方便的方法是Lan...
- 池凌飞林揆训姚若河林璇英余楚迎余云鹏
- 关键词：微分电路
- 文献传递
- 氩等离子体的电子能量分布函数分析被引量：1
- 2004年
- 池凌飞林揆训林璇英余云鹏余楚迎
- 关键词：氩等离子体等离子体振荡射频辉光放电
