温军战
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：南京航空航天大学机电学院更多>>
- 发文基金：中国航空科学基金江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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- 单晶硅反应激波刻蚀试验研究
- 理论和试验研究表明，短脉冲有限幅值超声波在液体中传播时，由于传播的非线性影响，与材料表面相互作用时会产生冲击波或应力波，一般称为激波，又称震波，激波在液体介质中具有瞬时高能、高压的特点。
本文提出基于脉冲超声波...
- 温军战
- 关键词：单晶硅
- 文献传递
- 单晶硅反应激波刻蚀试验研究被引量：1
- 2008年
- 提出基于脉冲超声波聚焦的反应激波刻蚀加工方法,采用大功率压电陶瓷激波发生器,在液体介质中产生聚焦脉冲超声波(频率1 MHz),由于传输过程中形成的非线性效应形成高能、瞬时压力激波,结合化学腐蚀方法,利用物理和声化学作用,使位于聚焦区域的材料迅速蚀除。采用激波、超声波和磁力搅拌3种不同方式对单晶硅进行刻蚀试验,结果表明反应激波刻蚀速率最快。在此基础上,进一步分析研究了腐蚀剂浓度、反应温度及激波功率等不同工艺参数对刻蚀速率的影响,并对反应激波刻蚀硅加工基本规律进行了探讨,为后续研究提拱了理论和试验基础。
- 温军战汪炜张丽宏刘正埙
- 关键词：硅湿法腐蚀
