游利兵
- 作品数：23 被引量：115H指数：7
- 供职机构：中国科学院安徽光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项中国科学院安徽光学精密机械研究所所长基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位研究被引量：7
- 2013年
- 为了解决高重复率下准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位问题,以理论分析为指导,结合磁开关工作特性,设计了一种磁芯精确复位电路,该电路可快速精确复位饱和后的磁开关。将此复位系统应用于准分子激光器脉冲电源测试其性能,复位电流在磁开关饱和后200μs内平息振荡。结果表明,这一磁芯复位系统可满足4kHz重复率下脉冲电源的复位要求。此研究对今后高重复率准分子激光电源的设计是有帮助的。
- 厉彦超游利兵王庆胜余吟山方晓东
- 关键词：磁脉冲压缩脉冲电源准分子激光
- 近期光刻用ArF准分子激光技术发展被引量：9
- 2010年
- 193 nm ArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90 nm以下节点半导体量产。分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术:主振-功率再生放大(MOPRA)结构,主振-功率振荡(MOPO)结构,主动光谱带宽稳定技术,先进的气体管理技术。对光刻用准分子激光光源技术发展趋势进行了简要的讨论。
- 游利兵周翊梁勖余吟山方晓东王宇
- 关键词：激光技术光刻
- 用于平板显示LTPS制备的ELA光束整形系统被引量：3
- 2016年
- 介绍了多晶硅薄膜较非晶硅薄膜在平板显示领域的优势以及准分子激光晶化制备多晶硅膜的结晶过程。介绍了透镜阵列实现匀光的原理。阐述了典型的准分子激光退火线型光束整形系统的扩束、匀光、投影等结构。并介绍了连续横向固化技术在准分子激光制备低温多晶硅领域的应用。讨论了准分子激光退火光学系统的发展现状,指出了其在平板显示行业的重要意义。
- 尹广玥游利兵方晓东
- 关键词：平板显示低温多晶硅
- 0.73J脉冲能量KrF准分子激光器的特性被引量：6
- 2013年
- 研制了一台KrF大能量准分子激光器,激光器采用紧凑型Chang电极与紫外火花预电离的结合,实现了激活区大面积的均匀辉光放电,利用LC反转倍压以及一级磁脉冲压缩技术在放电电容上实现了峰值电压40kV、脉冲上升时间约为100ns的高压快脉冲激励。研究了工作气体含量对激光器能量输出的影响,在总气压3.3×105 Pa,F2/He,Kr,Ne体积分数比值为1.97∶3.18∶94.85,充电电压27kV时,得到了738mJ的单脉冲能量输出,激光近场光斑30mm×14mm,在充电电压23kV时,全电效率最高,达到2.0%。
- 赵家敏游利兵余吟山方晓东
- 关键词：准分子激光器激光退火大能量磁脉冲压缩
- 大能量高功率准分子激光的应用及关键技术被引量：5
- 2013年
- 实用型大能量高功率准分子激光器广泛地应用于材料的加工及表面处理,介绍了其在液晶平板显示行业、太阳能光伏行业、半导体行业及汽车制造业的应用。分析了大能量高功率准分子激光器的关键技术,如大面积均匀放电技术,预电离技术,高压快脉冲激励技术以及为了得到更大的脉冲能量及功率输出而采用的双腔同步技术。
- 赵家敏游利兵余吟山方晓东
- 关键词：激光技术准分子激光大能量高功率磁脉冲压缩激光退火
- 一种放电引发非链式氟化氘脉冲激光器研究
- 2016年
- 设计了一种紧凑型放电引发非链式氟化氘(DF)脉冲激光器,引入基于闸流管的一级磁脉冲压缩高压快上升沿放电引发回路,形成39.5kV、100ns上升沿高压快脉冲。紧凑型张氏放电电极结合紫外(UV)火花预电离,在电极间距为30mm激活区形成均匀辉光放电,注入能量密度达190J/L。激光谐振腔选用平平腔结构,激光工作气体采用SF6和D2,其气体配比优化为10:3,此时获得最大能量输出为877mJ,电光转换效率为1.9%,脉宽约200ns,光斑为30mm×9mm。
- 游利兵尹广玥王庆胜方晓东
- 关键词：激光器化学激光磁脉冲压缩开关
- 高重复率小型准分子激光开关电源设计被引量：6
- 2009年
- 设计了一种用于高重复率准分子激光器的正弦恒流型高压开关电源,逆变主电路采用串联谐振回路,输出电压10kV至15kV,重复率1Hz至300Hz。分析了逆变回路工作情况,介绍了变压器的参数计算方法和所采取的抗电磁干扰措施。电源体积小巧,运行稳定。经改进可使重复率提高到600Hz。
- 游利兵梁勖黄德文余吟山
- 关键词：准分子激光开关电源串联谐振高重复率
- 准分子激光全固态脉冲电源设计与实验研究被引量：14
- 2009年
- 针对脉冲能量5～8mJ的ArF准分子激光器，设计了基于可控硅开关结合三级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源，采用园产可控硅和磁开关材料，获得了上升时间约150EIS，电压10～14kV，传递能量0．35～0．68j的激励脉冲，并实现了对准分子激光器快放电激励。三级磁开关总效率35％，分析表明磁开关损耗较大主要原因为电容能量转移不充分、导线铜损及磁芯材料铁损较大，并提出了相应改进办法。
- 游利兵梁勖余吟山李会王庆胜王效顺
- 关键词：准分子激光磁开关可控硅磁脉冲压缩
- kHz准分子激光器全固态脉冲激励源被引量：6
- 2013年
- 由于寿命制约,准分子激光器使用的传统放电开关闸流管不能满足准分子激光器高重复频率长期稳定工作运行的要求。设计了基于两级磁脉冲压缩技术的全固态脉冲功率模块,使用大功率半导体开关结合脉冲升压变压器产生μs级的高压脉冲,利用磁脉冲压缩技术将上升时间为μs级高压脉冲压缩至满足准分子激光器使用的上升时间为0.1μs级高压脉冲。在ArF准分子激光头上放电,获得激励脉冲的上升时间约为90ns,放电电压16.5kV,重复频率达到1kHz,两级磁脉冲压缩开关能量传递效率达59.1%。
- 王庆胜游利兵余吟山赵家敏方晓东
- 关键词：准分子激光器磁开关磁脉冲压缩
- 高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究被引量：7
- 2012年
- 为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法,并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真。结果表明,建立的脉冲能量模型是合理的,且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的。
- 王效顺梁勖游利兵赵家敏方晓东
- 关键词：激光器能量稳定高重复频率
