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王新河

作品数：10 被引量：0H指数：0
供职机构：北京航空航天大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇中文专利

领域

  • 6篇电子电信

主题

  • 5篇刻蚀
  • 3篇等离子体刻蚀
  • 3篇网络
  • 2篇信号
  • 2篇爬虫
  • 2篇爬虫系统
  • 2篇中心节点
  • 2篇网络信息
  • 2篇微球
  • 2篇均匀度
  • 2篇减薄
  • 2篇胶层
  • 2篇光刻
  • 2篇厚度
  • 2篇分布式
  • 2篇分布式网络
  • 1篇调幅
  • 1篇调幅信号
  • 1篇信号光
  • 1篇信息采集

机构

  • 10篇北京航空航天...

作者

  • 10篇王新河
  • 4篇林晓阳
  • 3篇尹科
  • 3篇王丽华
  • 3篇王宝会
  • 3篇于雷

年份

  • 2篇2023
  • 5篇2022
  • 1篇2016
  • 2篇2013
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种分布式网络爬虫系统
一种分布式网络爬虫系统，适用于网络信息采集领域，包括：管理门户、中心节点服务器、分布式子节点服务器；管理门户是爬虫系统对管理员提供的Web接口，能够查看中心节点服务器和分布式子节点服务器的日志，设置添加主题，更新某个主题...
王宝会于雷王丽华王新河尹科
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一种分布式网络爬虫系统
一种分布式网络爬虫系统，适用于网络信息采集领域，包括：管理门户、中心节点服务器、分布式子节点服务器；管理门户是爬虫系统对管理员提供的Web接口，能够查看中心节点服务器和分布式子节点服务器的日志，设置添加主题，更新某个主题...
王宝会于雷王丽华王新河尹科
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刻蚀终点检测方法及装置
本发明提供一种刻蚀终点检测方法及装置，该刻蚀终点检测方法包括：根据刻蚀终点层获取刻蚀终点元素和刻蚀中间元素；根据刻蚀中间元素的当前元素浓度时间曲线的刻蚀峰在预设的采集位置采集刻蚀终点元素的当前元素浓度时间曲线；根据刻蚀终...
林晓阳王新河常晓阳李燊赵巍胜
刻蚀终点检测方法及装置
本发明提供一种刻蚀终点检测方法及装置，该刻蚀终点检测方法包括：通过电源调制信号对刻蚀电源信号进行调幅得到刻蚀调幅信号；获取光谱仪采集的基于等离子体刻蚀样品生成的光谱信号；其中，等离子体由刻蚀工艺系统基于刻蚀调幅信号加载生...
常晓阳王新河林晓阳赵巍胜
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刻蚀终点检测方法及装置
本发明提供一种刻蚀终点检测方法及装置，该刻蚀终点检测方法包括：根据刻蚀脉冲信号的上升沿、光谱仪积分时间和光谱仪信号确定正向光谱积分数据；根据刻蚀脉冲信号的下降沿、光谱仪积分时间和光谱仪信号确定负向光谱积分数据；根据正向光...
常晓阳王新河林晓阳赵巍胜
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刻蚀气体监测系统及气体状态分析方法
本发明提供一种刻蚀气体监测系统及气体状态分析方法。该系统包括：信号光源光梳、本振光源光梳、导光模块、等离子体刻蚀腔室、第一信号采集装置、参考臂和气体状态分析装置；导光模块将信号光源光梳发出的信号光和本振光源光梳发出的本振...
戴星灿王新河林晓阳常晓阳赵巍胜
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一种薄膜乳化装置及其制作方法
本申请提供一种薄膜乳化装置及其制作方法。薄膜乳化装置用于制作离散相微球，包括薄膜，具有多个通孔结构，用以通过离散相；其中所述薄膜包括第一光刻胶层和第二光刻胶层，所述通孔结构包括设于所述第一光刻胶层上的第一通孔以及设于所述...
雷蕾王新河
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一种面向主题的网页采集系统
本发明涉及一种面向主题的网页采集系统，属于网络通信领域，用于对面向主题的网络信息采集方面，包括样本训练模块、策略搜索模块和采集模块；样本训练模块通过人工设定的网页样本库进行分析和计算得出主题特征向量和值，及页面的相似度阀...
王宝会于雷王丽华王新河尹科
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一种薄膜乳化装置及其制作方法
本申请提供一种薄膜乳化装置及其制作方法。薄膜乳化装置用于制作离散相微球，包括薄膜，具有多个通孔结构，用以通过离散相；其中所述薄膜包括第一光刻胶层和第二光刻胶层，所述通孔结构包括设于所述第一光刻胶层上的第一通孔以及设于所述...
雷蕾王新河
刻蚀终点监测方法及装置
本申请实施例提供一种刻蚀终点监测方法及装置，方法包括：通过获取光谱仪在刻蚀过程中采集的光谱数据，并对所述光谱数据进行滤波处理；对滤波后的所述光谱数据进行数据降维，得到所述光谱数据的至少一个特征波段；对所述光谱数据的至少一...
齐廉浩王新河毛静远常晓阳赵巍胜钟涛彭宇霖刘钊成
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