白利峰
- 作品数：3 被引量：25H指数：1
- 供职机构：兰州大学物理科学与技术学院等离子体与金属材料研究所更多>>
- 发文基金：甘肃省自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 纳米结构Cu3N薄膜的直流磁控溅射法制备及其特性
- 采用柱状靶多弧直流磁控溅射法,室温下在玻璃衬底上制备了CuN薄膜。用X射线衍射方法研究了不同氮气分压对CuN薄膜晶体结构及晶粒尺寸的影响。XRD测试结果显示薄膜由准ReO结构的CuN纳米晶构成。氮气分压(N/N+Ar)较...
- 吴志国张伟伟白利峰陈强吴现成
- 文献传递
- 纳米Cu_3N薄膜的制备与性能被引量：25
- 2005年
- 采用柱状靶多弧直流磁控溅射法 ,10 0℃基底温度下在玻璃衬底上制备了纳米氮化铜 (Cu3N)薄膜 .用x射线衍射研究了不同氮气分压对Cu3N薄膜晶体结构及晶粒尺寸的影响 .结果显示薄膜由Cu3N和Cu的纳米微晶复合而成 ,其中Cu3N纳米微晶具有立方反ReO3结构 .通过原子力显微镜对薄膜表征显示 ,膜表面比较光滑 ,具有较低的粗糙度 .x射线光电子能谱对薄膜表面的成分分析表明 ,Cu3N薄膜表面铜元素同时以 +1价和 +2价存在 .Cu3N的Cu2p3 2 ,Cu2p1 2 及N1s峰分别位于 932 7,95 2 7和 399 9eV ,Cu2p原子自旋 轨道耦合裂分能量间距为 2 0eV .用台阶仪和四探针方法测量了薄膜的厚度及电阻率 ,薄膜的沉积速率和电阻率在很大程度上受到氮气分压的调制 .
- 吴志国张伟伟白利峰王君阎鹏勋
- 关键词：X射线衍射晶体结构
- 纳米金属粉体制备技术，设备研究，基础理论研究及产业化
- 闫鹏勋王群吴志国黎明白利峰魏智强张广安
- 我们综合等离子体物理，金属材料物理，真空技术，纳米材料技术，化学，电源技术，诊断技术，机械加工技术等，自行设计建造了具有独立知识产权的三套等离子体制备（生产）镍纳米（金属纳米）粉体材料设备（生产线）。其中“动阳极弧放电等...
- 关键词：
