秦明
- 作品数：436 被引量：403H指数：11
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- 发文基金：国家自然科学基金江苏省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 电容式相对湿度传感器
- 电容式相对湿度传感器由衬底，氧化层，电容电极，湿度敏感介质组成，氧化层设在衬底上，电容电极设在氧化层上，电容电极由压焊块引出，湿度敏感介质设在电容电极之间和电容电极上方，腐蚀衬底及其上方的氧化层，形成空腔，使得电容电极之...
- 赵成龙黄庆安秦明
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- 电容式相对湿度传感器
- 本发明是一种用于湿度信号传感的电容式相对湿度传感器，由衬底，氧化层、电容电极组成，氧化层设在衬底上，电容电极设在氧化层上方，在电容电极上设有电极引线，该电容电极为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极，在电容电极上设有钝化...
- 顾磊黄庆安秦明张中平
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- CMOS工艺兼容的相对湿度传感器
- 本发明公开了一种用于检测湿度的CMOS工艺兼容相对湿度传感器，由衬底，氧化层，电容下极板，电容上极板组成，氧化层设在衬底上，电容下极板平铺于氧化层上，电容上极板位于衬底和氧化层的上方；本发明具有制作方法和结构非常简单，温...
- 彭韶华黄庆安秦明张中平
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- 一种快速响应的CMOS相对湿度传感器
- 一种快速响应的CMOS相对湿度传感器，由衬底，氧化层，电容电极，湿度敏感介质组成，氧化层设在衬底上，电容电极设在氧化层上，电容电极由压焊块引出，湿度敏感介质设在电容电极之间和电容电极上方，腐蚀衬底及其上方的氧化层，形成空...
- 赵成龙黄庆安秦明
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- 多层梁结构的电容式微机械温度传感器
- 多层梁结构电容式温度传感器，由电容极板和连接电容极板的引线组成，采用微机械加工方法制备，该传感器由上电容极板(1)和下电容极板(2)及连接电容极板的第一引线(3)和第二引线(4)组成，上电容极板(1)和下电容极板(2)为...
- 黄庆安陆婷婷秦明
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- 一种新型的CMOS兼容MEMS热风速计
- 提出了一种新型的利用硅衬底实现传感器自封装的热风速计结构,该传感器不仅可以测量风速,也可测量风向。采用ANSYS有限元分析工具对该结构进行了模拟。在风洞中进行了测试分析,该传感器可以实现0-23m/s的风速测量,风向测量...
- 秦明高冬晖孙剑波黄庆安
- 关键词：风速计封装风向
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- 可双向扭转的交错梳齿静电驱动可变光衰减器及制备方法
- 本发明公开了一种可双向扭转的交错梳齿静电驱动可变光衰减器，包括衬底、固定梳齿单元、微镜、活动梳齿单元、两根支杆、绝缘介质层、两根扭转杆、两个活动电极区，两个活动电极区分别与衬底之间固定连接氧化绝缘层，绝缘介质层分别嵌至在...
- 秦明
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- 用磁控溅射法制备的CdS薄膜的光电特性被引量：1
- 2013年
- 研究了采用磁控溅射方法制备的CdS薄膜的工艺及光电性质,在200℃、300℃、400℃和500℃下分别进行50 min的退火处理,SEM扫描发现退火处理后的CdS薄膜成膜质量更好。通过SEM测得CdS薄膜厚度为10μm,计算出CdS薄膜的溅射速率为7.5μm/h。通过探针I-V测试表明,400℃退火处理下,CdS薄膜的光电导特性最为优异,光电流与暗电流之比可达2 134.8。
- 孙萍王业秦明
- 关键词：磁控溅射光电特性
- 热驱动微机械光纤开关及其制造方法
- 热驱动微机械光纤开关及其制造方法是一种用于数字光纤通信网络中对光纤信号进行阻断和转换的装置，在固定光纤的硅板的表面上设有4条相互之间呈十字交叉，垂直的光纤。在槽中设有光纤，在固定光纤的硅板中央设有一凹坑，反射镜位于该凹坑...
- 秦明黄庆安樊路加
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- 一种高分辨率宽量程微机械电位器引出结构及可变电阻输出方法
- 本发明提出一种高分辨率宽量程微机械电位器引出结构及可变电阻输出方法。采用带有N个接触触点的长条状微滑板使接触触点处于不同位置，采用静电执行器使某一个接触触点与金属条和电阻条之间接触短路。并联金属条的输出端与串联电阻条的端...
- 秦明何倩
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