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胡晓凯

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇抛光
  • 3篇化学机械抛光
  • 3篇机械抛光
  • 2篇溶胶
  • 2篇抛光表面
  • 2篇抛光垫
  • 2篇抛光液
  • 2篇平坦度
  • 2篇微电子
  • 2篇粒径
  • 2篇晶种
  • 2篇镜面
  • 2篇蓝宝
  • 2篇蓝宝石
  • 2篇蓝宝石衬底
  • 2篇胶体
  • 2篇胶体颗粒
  • 2篇光电
  • 2篇光电子
  • 2篇光电子材料

机构

  • 7篇中国科学院

作者

  • 7篇胡晓凯
  • 7篇宋志棠
  • 7篇刘卫丽
  • 3篇汪海波
  • 3篇张磊
  • 1篇潘忠才
  • 1篇张泽芳
  • 1篇秦飞

年份

  • 3篇2011
  • 1篇2010
  • 3篇2009
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
一种硅溶胶晶种的制备方法
本发明属于微电子及光电子材料技术领域，具体涉及一种硅溶胶晶种的制备方法。本发明的制备方法包括：将碱性硅酸盐质水溶液与酸性硅酸盐质水溶液混合后制得弱碱性混合硅酸盐质水溶液；弱碱性混合硅酸盐质水溶液经水热反应制得硅溶胶晶种。...
胡晓凯宋志棠刘卫丽汪海波张磊
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一种不锈钢衬底的精密抛光方法
本发明涉及一种不锈钢衬底的精密抛光方法，包括：按比例配制抛光液；将待抛光的不锈钢衬底5固定于抛光头4底部，加压装置7将抛光头4作用于抛光台6上，并且抛光台6、抛光头4在转动装置带动下旋转，同时抛光液2被输送至抛光垫1表面...
胡晓凯宋志棠刘卫丽
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蓝宝石衬底及抛光方法与应用
本发明涉及半导体材料领域，公开了一种蓝宝石衬底及其抛光方法与应用，本发明的蓝宝石衬底表面抛光，且抛光表面具有随机无序的凹陷图案结构。本发明的蓝宝石衬底表面只有局部平坦化。这样的蓝宝石衬底大大降低了加工成本，增加了抛光效率...
胡晓凯宋志棠刘卫丽
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一种不锈钢衬底的精密抛光方法
本发明涉及一种不锈钢衬底的精密抛光方法，包括：按比例配制抛光液；将待抛光的不锈钢衬底5固定于抛光头4底部，加压装置7将抛光头4作用于抛光台6上，并且抛光台6、抛光头4在转动装置带动下旋转，同时抛光液2被输送至抛光垫1表面...
胡晓凯宋志棠刘卫丽
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水玻璃为原料制备纳米氧化硅磨料及应用于硅片抛光(英文)
化学机械抛光技术广泛应用于集成电路制造平坦化工艺制程。本文中以水玻璃为初始原料,通过硅酸分子间的聚合反应流程,制备了化学机械抛光专用胶体二氧化硅纳米研磨料。通过硅酸的持续加入,氧化硅纳米颗粒的直径增加。采用扫描电子显微镜...
胡晓凯宋志棠汪海波刘卫丽潘忠才秦飞张泽芳张磊
关键词：氧化硅磨料化学机械抛光水玻璃
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蓝宝石衬底及抛光方法与应用
本发明涉及半导体材料领域，公开了一种蓝宝石衬底及其抛光方法与应用，本发明的蓝宝石衬底表面抛光，且抛光表面具有随机无序的凹陷图案结构。本发明的蓝宝石衬底表面只有局部平坦化。这样的蓝宝石衬底大大降低了加工成本，增加了抛光效率...
胡晓凯宋志棠刘卫丽
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一种硅溶胶晶种的制备方法
本发明属于微电子及光电子材料技术领域，具体涉及一种硅溶胶晶种的制备方法。本发明的制备方法包括：将碱性硅酸盐质水溶液与酸性硅酸盐质水溶液混合后制得弱碱性混合硅酸盐质水溶液；弱碱性混合硅酸盐质水溶液经水热反应制得硅溶胶晶种。...
胡晓凯宋志棠刘卫丽汪海波张磊
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