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蒋波

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇瞬态
  • 2篇自动测试系统
  • 2篇微结构
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体材料
  • 2篇半导体测试
  • 2篇测试系统

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇卢励吾
  • 2篇蒋波
  • 2篇张砚华

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2006
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种光瞬态自动测试系统
本发明涉及半导体测试领域领域,特别是一种光瞬态自动测试系统。包括:光注入装置;光注入装置;样品室装置;信息采集装置。本发明可用于半导体材料中光激发瞬态信号的自动测试。为此,本系统是检测半导体材料中杂质和缺陷及微结构的最有...
蒋波卢励吾张砚华
文献传递
一种光瞬态自动测试系统
本发明涉及半导体测试领域,特别是一种光瞬态自动测试系统。包括:光注入装置;光注入装置;样品室装置;信息采集装置。本发明可用于半导体材料中光激发瞬态信号的自动测试。为此,本系统是检测半导体材料中杂质和缺陷及微结构的最有力手...
蒋波卢励吾张砚华
文献传递
共1页<1>
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