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蒋波
作品数:
2
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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张砚华
中国科学院半导体研究所
卢励吾
中国科学院半导体研究所
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测试系统
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中国科学院
作者
2篇
卢励吾
2篇
蒋波
2篇
张砚华
年份
1篇
2009
1篇
2006
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一种光瞬态自动测试系统
本发明涉及半导体测试领域领域,特别是一种光瞬态自动测试系统。包括:光注入装置;光注入装置;样品室装置;信息采集装置。本发明可用于半导体材料中光激发瞬态信号的自动测试。为此,本系统是检测半导体材料中杂质和缺陷及微结构的最有...
蒋波
卢励吾
张砚华
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一种光瞬态自动测试系统
本发明涉及半导体测试领域,特别是一种光瞬态自动测试系统。包括:光注入装置;光注入装置;样品室装置;信息采集装置。本发明可用于半导体材料中光激发瞬态信号的自动测试。为此,本系统是检测半导体材料中杂质和缺陷及微结构的最有力手...
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卢励吾
张砚华
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