褚家如
- 作品数：193 被引量：404H指数：11
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>
- LAMOST光纤定位技术被引量：8
- 2007年
- 对于在建的大天区面积多目标光纤光谱天文望远镜(large sky area multi-object fiber spectroscopy telescope,LAMOST)而言,如何在直径为1.75 m的球冠形焦面板上将4 000根光纤快速定位,实现同时观测4 000个天体目标,是其两大关键技术问题之一.本文介绍了由中国科学技术大学提出的分区并行可控光纤定位技术的总体设计思想,以及在研制过程中解决的技术问题;讨论了亟待解决的光纤定位的位置测量问题.安装后的LAMOST焦面光纤定位小系统在兴隆现场已完成了与其他系统的联调,成功地批量获得了天体光谱.
- 邢晓正胡红专褚家如
- 关键词：天文望远镜光纤光谱光纤定位
- 改进的飞秒激光加工微型光波导方法被引量：7
- 2007年
- 分析了垂直式加工中加工区域光强分布不对称的原因,从理论上总结出改进这种不对称的方法。在分析了仅引入单个透镜就能实现这一改进的可行性后,实验验证了这种改进方法。未改进之前加工出的光波导其端口两个方向直径之比为10∶1,甚至更高;而改进后的比例则非常接近1∶1。通过对光强不对称的改进,该方法有光路简单,无能量损失的优势。
- 龚小竞褚家如杨建军张铁群朱晓农
- 关键词：飞秒激光
- 带边缘驱动的214单元单压电变形镜仿真与实验被引量：5
- 2016年
- 为了提高用于天文自适应光学系统的单压电变形镜的校正能力,提出了一种直径为75 mm且包含214个单元的带边缘驱动的单压电变形镜,单压电变形镜的边缘由数个压电堆栈执行器支撑.首先,通过有限元方法对变形镜进行仿真建模,分析比较三点、六点能动支撑对变形镜性能的影响.之后制备了三点、六点边缘驱动的变形镜样机.最后,利用波前传感器测试了边缘执行器对低阶像差的校正能力.实验结果表明：在0~100 V电压下,三点能动支撑与六点能动支撑变形镜均可重构大于12μm的倾斜像差,对应的归一化残余误差小于0.06,六点致动对像散和三叶草像差也具有较好的校正能力,证明边缘执行器可提高单压电变形镜的校正能力.
- 陈凯陈俊杰毛宇昕马剑强褚家如
- 关键词：自适应光学像差校正
- 并行探针驱动的扫描等离子体加工装置和加工方法
- 本发明涉及等离子体刻蚀加工技术。所述装置包括有等离子微放电器和一空心探针，以及放置被加工件的三维扫描工作台，等离子微放电器为敞口漏斗形，置于一悬臂梁端头，空心探针连接在该漏斗出口处。悬臂梁上设有主压电陶瓷制动器，机座上设...
- 褚家如王海
- 文献传递
- 微系统中PZT铁电薄膜的制备
- PZT(Pb(Zr<,x>Ti<,1-x>)O<,3>)作为一种性能优异的功能材料,被广泛应用于微系统中的微型传感器和微型驱动器.本文综述了适用于微系统技术中的PZT铁电薄膜的制备方法,介绍了国内外PZT铁电薄膜制备的最...
- 鲁健褚家如黄文浩
- 关键词：PZT铁电薄膜微系统微机械电子系统磁控溅射法
- 文献传递
- 硅基片微型通孔加工技术被引量：7
- 2004年
- 介绍了硅基片微型通孔的用途及在微机电系统发展中的重要性,从原理、过程、优缺点等方面详细叙述了激光打孔法、湿法刻蚀法、深度反应离子刻蚀法(DRIE)和光辅助电化学刻蚀法(PAECE)等四种硅基片微型通孔的加工方法,并对各种方法进行了比较,提出了各种方法的适用范围。
- 赵钢褚家如徐藻
- 关键词：微机电系统
- 一种螺旋形聚焦光场的生成方法
- 本发明公开了一种螺旋形聚焦光场的生成方法，为了获得空间参数更加可控的螺旋形结构光场，将涡旋光相位分布与空间变形的sp相位因子相叠加，可以得到一个目标相位图，涡旋光相位分布与空间变形的sp相位因子相叠加得到用于生成螺旋形结...
- 胡衍雷冯文飞吴东李家文褚家如
- 文献传递
- 溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT薄膜被引量：1
- 2006年
- 首次提出了使用溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT压电陶瓷薄膜,分析了光纤表面PZT压电陶瓷薄膜的成膜机理与特点,系统的研究了溶胶-电雾化法制备PZT压电陶瓷薄膜的特点,并分析了前驱液浓度、电雾化条件、PZT压电陶瓷薄膜沉积过程温度等因素对于PZT压电陶瓷薄膜的表面质量的影响.针对整个工艺过程进行了优化,最终得到了表面质量较好的PZT压电陶瓷薄膜.
- 吴亚雷吴建华褚家如
- 关键词：PZT薄膜升温控制
- 手性多瓣微结构的制备方法和装置
- 本发明提供了一种手性多瓣微结构的制备方法和装置，属于微纳制造技术领域。其中，所述手性多瓣微结构的制备方法，包括：计算手性多瓣微结构的全息图；根据所述全息图，使用飞秒全息加工系统对光刻胶材料样品进行加工，得到待显影手性多瓣...
- 李家文刘顺利潘登李瑞范胜颖吴东胡衍雷褚家如
- 文献传递
- 硅的离子束抛光技术研究被引量：4
- 1995年
- 介绍了用离子束抛光法获得硅的超光滑表面的方法，并给出了不同抛光条件下表面粗糙度的原子力显微镜（AFM）测量结果，其中最好的表面粗糙度达0.12nm（有效值）。
- 洪义麟付绍军陶晓明黄文浩褚家如L.MonicaA.M.Baro
- 关键词：硅超光滑表面硅表面
