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作者

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  • 2篇张秀杰
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年份

  • 1篇2023
  • 1篇2022
  • 2篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
增强磁场型线性离子源
本发明属于离子束技术领域,具体地说是一种适用于离子束清洗,离子束刻蚀和离子束辅助沉积的磁场增强型线性离子源。包括阴极顶板、阴极外框、中央磁钢、外围磁钢、气路、水冷阳极和绝缘支柱。离子束引出口由构成阴极顶板的阴极顶板外环和...
陈庆川韩大凯赵哲沈丽如王丁
一种液态金属多试样恒载荷应力腐蚀试验装置及方法
本发明属于材料性能测试技术,具体涉及一种液态金属多试样恒载荷应力腐蚀试验装置及方法,装置包括熔化罐、实验罐、液体管道、冷却器、液态金属阀门和加载系统;熔化罐和实验罐金属密封;熔化罐和实验罐通过安装气体管道实现两个罐体连通...
孙振超王磊唐德礼卢燮明张秀杰李鹏远赵哲赵耀张腾潘传杰
一种液态金属多试样恒载荷应力腐蚀试验装置及方法
本发明属于材料性能测试技术,具体涉及一种液态金属多试样恒载荷应力腐蚀试验装置及方法,装置包括熔化罐、实验罐、液体管道、冷却器、液态金属阀门和加载系统;熔化罐和实验罐金属密封;熔化罐和实验罐通过安装气体管道实现两个罐体连通...
孙振超王磊唐德礼卢燮明张秀杰李鹏远赵哲赵耀张腾潘传杰
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增强磁场型线性离子源
本发明属于离子束技术领域,具体地说是一种适用于离子束清洗,离子束刻蚀和离子束辅助沉积的磁场增强型线性离子源。包括阴极顶板、阴极外框、中央磁钢、外围磁钢、气路、水冷阳极和绝缘支柱。离子束引出口由构成阴极顶板的阴极顶板外环和...
陈庆川韩大凯赵哲沈丽如王丁
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射频电感耦合离子源放电室内放电等离子体的二维磁流体模拟研究被引量:1
2013年
为了研究平面盘香形射频离子源等离子体放电特性,对射频电感耦合离子源内的放电等离子体运用磁流体动力学建立二维磁流体模型进行数值模拟,得到了放电室内等离子体参数分布。结果发现电子由于受双极性电势的约束主要分布在放电室的中心,放电等离子体吸收能量的区域主要在放电室内距天线1 cm附近。对比电子的温度和离子密度分布,在低气压条件下,电子加热的区域和产生电离的区域是分开的,电子加热的区域出现在线圈附近,而最强的电离过程发生在双极性电势最高的位置附近。
聂军伟陈庆川黄琪冯春堂赵哲耿少飞
关键词:电感耦合等离子体数值模拟磁流体动力学
射频电感耦合离子源放电室内放电等离子体的二维磁流体模拟研究
对射频电感耦合离子源内的放电等离子体运用磁流体动力学建立二维磁流体模型进行数值模拟,得到了放电室内等离子体参数分布.电子由于受双极性电势的约束主要分布在放电室的中心,放电等离子体吸收能量的区域主要在天线下端放电室内距陶瓷...
聂军伟陈庆川黄琪冯春堂赵哲孙巍
关键词:磁流体发电等离子体放电特性
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共1页<1>
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