邱振宇
- 作品数：6 被引量：11H指数：1
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术电子电信一般工业技术更多>>
- 大马士革铜阻挡氮化硅薄膜沉积工艺的优化研究
- 为了实现A公司“提高产能降低成本”的目标,本文通过实验试图发现一种大规模生产中可以在沉积Si3N4薄膜工艺上取代HDP-CVD(High Density Plasma Chemical Vapor Deposition,...
- 邱振宇
- 关键词：铜互连氮化硅PE-CVD
- 文献传递
- 基于双轴拉伸试验的飞艇蒙皮材料非线性分析被引量：9
- 2018年
- 飞艇蒙皮为多功能层压织物材料,力学行为呈现复杂的非线性,合理表征其非线性的力学模型对飞艇结构设计与分析至关重要。本文对飞艇蒙皮材料试件进行了7个应力比双轴拉伸试验,基于正交异性材料模型,采用应变残差平方和最小方法计算弹性常数,建立线性力学模型;根据试验数据建立应力弹性常数响应面,建立以应力为变量的完整三次式非线性力学模型。并根据此力学模型建立飞艇蒙皮材料有限元分析模型,通过数值模拟七种应力比下的双轴拉伸试验,分析结果的应力分布和分缝位移与试验现象一致。将分析得到的应力-应变曲线与试验结果进行对比,两者能很好的吻合,表明非线性力学模型及分析方法适用于飞艇结构分析。
- 鲁国富邱振宇高成军陈务军
- 关键词：双轴拉伸试验有限元分析
- 半硬式平流层飞艇结构特性分析
- 半硬式飞艇兼具了软式、硬式飞艇的优点，是临近空间浮空平台的理想选择。通过对常见半硬式飞艇结构进行计算比较分析，结合各自的特点提出了一种适宜于在平流层工作的半硬式飞艇结构设计方案，并在不同内压下进行计算，对飞艇在不同内压下...
- 邱振宇陈务军陈宇峰付功义
- 关键词：平流层飞艇有限元法ABAQUS
- 浮空器织物膜材非线性力学性能试验与数值分析
- 本文以浮空器织物膜材的双轴拉伸试验为基础，提出一简洁适用的本构关系模型。织物膜材满足正交各向异性的平面应力理论，同时由于经纬向纱线间存在复杂的相互作用，膜材的力学性能随应力比的变化而变化。试验分析显示弹性模量与名义应力比...
- 陈建稳陈务军邱振宇
- 关键词：涂层织物双轴拉伸试验应力比
- 大马士革铜阻挡氮化硅薄膜沉积工艺优化研究被引量：1
- 2008年
- 在铜大马士革(Damascene)工艺中,为避免由于铜向FSG中扩散所致电迁移的问题,需要在铜表面沉积一层氮化硅作为隔离铜和随后的介电材料的直接接触,通常人们使用HDP-CVD来沉积该氮化硅层。但针对HDP-CVD沉积速率快和工艺设备成本高等问题,文中研究了一种优化了的PECVD氮化硅沉积工艺来取代HDP-CVD氮化硅工艺。优化主要包含硬件改进和工艺参数调整。硬件改进主要通过引入锥形阴极盘面代替传统的直通形阴极盘面,以实现气体分子的更有效电离。在工艺参数上从RF功率、SiH4流量等方面也有所调整。优化后形成的氮化硅薄膜与HDP-CVD氮化硅薄膜性能非常接近,完全符合大马士革工艺的要求。同时氮化硅薄膜的沉积速率也有明显提高,工艺成本随之降低。
- 邱振宇程秀兰
- 关键词：铜互连氮化硅PECVD
- 飞艇主气囊结构湿模态分析
- 为研究飞艇主气囊结构湿模态特性,基于势流理论和薄膜预应力刚化模型,引入空气势流体模型分析平面薄膜、薄膜充气管的模态特性,将考虑单面和双面气固耦合的分析结果进行对比,并通过模态试验验证了湿模态分析方法.对艇长5m、25m、...
- 邱振宇陈务军陈宇峰赵兵
- 关键词：飞艇
