郭攀
- 作品数:20 被引量:10H指数:2
- 供职机构:电子科技大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信理学机械工程更多>>
- 一种双层金属片加载的宽带多线极化可重构天线
- 本发明公开一种双层金属片加载的宽带多线极化可重构天线,包括介质基板、金属地板、上下层馈电圆片、上下层辐射贴片、上下层方形焊盘、上下层PIN二极管、直流铜柱、顶层金属片、底层金属片、同轴馈线,双层馈电圆片分别位于介质基板两...
- 刘颜回郭攀任潜杨仕文胡俊
- 一种加快痕量气体集成探测器响应的方法
- 本发明公开一种加快痕量气体集成探测器响应的方法,气路装置包括连接进气口的富集器、气体传感器、第一气泵依次连接形成主气路,通过三通阀将第一支气路连接于富集器输出端;通过三通阀或三通转接头将第二支气路绕过富集器直接将气体传感...
- 吴朋林郭攀赵瑾珠杜晓松谢光忠
- 文献传递
- 微型色谱热控制器的制备及电路控制的实现
- 随着科学技术的发展,微型气相色谱分析作为一种重要先进的检测手段,在环境监测、室内装修、水质检测、食品安全、化工产品安全检测中扮演着重要的角色。因此微型气相色谱分析在生产生活中显得尤为重要,其中温度控制一直是微型气相色谱能...
- 郭攀
- 关键词:温控电路
- 文献传递
- 面向可重构器件应用的PIN管参数提取方法研究
- 本文提出了一种基于可重构天线上PIN二极管的二端口S参数的一种准确获得方法。通过TRL去嵌入的手段得到真实器件校准面两端的S参数,并可直接将其导入HFSS仿真模型与天线进行场路协同仿真。相比过去可重构天线所用的一个电阻和...
- 梁世辰任潜郭攀刘颜回
- 关键词:PIN二极管
- 一种提高磁控溅射矩形靶厚度均匀性的基板运动方法
- 本发明公开了一种提高磁控溅射矩形靶膜厚均匀性的基板运动方法,靶上有条形环状的刻蚀环,圆形基板面对所述矩形靶,在所述矩形靶两侧对称位置设置第一折返点1和第二折返点2之间往复运动,包括如下内容:圆形基板在第一折返点1和第二折...
- 杜晓松郭攀赵瑾珠孙凤佩袁欢蒋亚东
- 文献传递
- 一种任意极化可编程共形阵列天线构建及综合方法
- 本发明公开一种任意极化可编程共形阵列天线构建及综合方法。传统阵列天线通常只能在单一极化下工作。要实现任意极化可调通常需要采用双通道双极化天线作为阵列单元,但该方法面临设备量大、成本高的问题。本发明采用多线极化可重构天线作...
- 刘颜回陈定昭郭攀任潜杨仕文胡俊聂在平
- 一种提高磁控溅射矩形靶膜厚均匀性的基板运动方法
- 本发明公开了一种提高磁控溅射矩形靶膜厚均匀性的基板运动方法,靶上有条形环状的刻蚀环,圆形基板面对所述矩形靶,在所述矩形靶两侧对称位置设置第一折返点1和第二折返点2之间往复运动,包括如下内容:圆形基板在第一折返点1和第二折...
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- 文献传递
- 基片的运动方式对磁控溅射矩形靶镀膜均匀性的影响被引量:6
- 2016年
- 本文从理论上分析了磁控溅射镀膜中基片的运动方式对沉积薄膜厚度均匀性的影响。在考虑了溅射环内不同位置刻蚀权重的情况下,对静止、直线往复运动(以下简称平动)、平动结合转动、平动结合转动并在折返处停留自旋四种运动方式,根据余弦定律对矩形靶在圆形基片上溅射的膜厚分布进行物理建模和仿真研究,并计算出相应的镀膜均匀度。研究结果表明,相比静止模式,平动时的膜厚均匀性有显著改善,平动结合转动的膜厚均匀性优于平动模式;但在前三种模式下,基片上的膜厚分布均为中心厚,边缘薄。而当采用第四种模式时,膜厚分布不再呈单调下降的趋势,延长停留时间会使膜厚分布发生翻转,变为中间薄、边缘厚,中间存在一个最佳的停留时间使得膜厚均匀性最好。
- 张向秀张鹏飞赵瑾珠郭攀杜晓松
- 关键词:磁控溅射膜厚均匀性
- 一种任意极化可编程共形阵列天线构建及综合方法
- 本发明公开一种任意极化可编程共形阵列天线构建及综合方法。传统阵列天线通常只能在单一极化下工作。要实现任意极化可调通常需要采用双通道双极化天线作为阵列单元,但该方法面临设备量大、成本高的问题。本发明采用多线极化可重构天线作...
- 刘颜回陈定昭郭攀任潜杨仕文胡俊聂在平
- 一种痕量气体集成探测器的流量匹配气路
- 一种痕量气体集成探测器的匹配气路,属于气体传感器/探测器技术领域。包括一个富集器、一个微型色谱柱、一个气体传感器、两个气泵和一个三通阀,并利用一个电路板控制各个部件的工作状态;其中,富集器、三通阀、微型色谱柱、气体传感器...
- 杜晓松吴朋林高超郭攀蒋亚东
- 文献传递