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陈汉祥

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇无损检测
  • 2篇激光
  • 2篇红外
  • 2篇红外激光
  • 1篇载流子
  • 1篇载流子浓度
  • 1篇数据采集
  • 1篇双光束
  • 1篇激光干涉
  • 1篇激光干涉测量
  • 1篇光束
  • 1篇硅器件
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体器件

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇陈汉祥
  • 1篇江剑平

传媒

  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇1997
  • 1篇1996
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
红外激光双光束无损检测的数据采集法被引量：1
1997年
讨论了红外激光双光束干涉信号的数据采集及在半导体器件无损检测中的应用。
江剑平陈汉祥
关键词：半导体器件无损检测数据采集激光干涉测量
硅器件的红外激光无损检测技术研究
该论文进一步分析了半导体器件的红外无损检测系统.对光路的调整、系统噪声的分析等都提出了自己的见解.设计制作了自动数据采集系统,完成了检测信号的自动数据采集和表征器件特性的样品驱动信号与检测信号之间关系的自动作图.通过对硅...
陈汉祥
关键词：无损检测载流子浓度
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共1页<1>
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