余桉
- 作品数:4 被引量:4H指数:1
- 供职机构:电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 铁电薄膜移相器发展现状
- 移相器在通信、雷达等诸多领域有着广泛而重要的应用。它是相控阵天线中的关键器件。近年来,以钛酸锶钡(BST)为代表的铁电薄膜由于具有高的介电常数调谐量,相对低的介质损耗等优异特性,开始应用于可调微波电路,最典型的便是铁电薄...
- 余桉杨传仁张继华
- 关键词:移相器铁电薄膜相控阵天线可变电容钛酸锶钡介质损耗
- 文献传递
- 钛酸锶钡铁电薄膜的制备与性能优化研究被引量:2
- 2007年
- 综述了目前钛酸锶钡(BST)铁电薄膜最为常用的4种制备工艺:磁控溅射法(Magnetron Sputtering)、脉冲激光沉积法(PLD)、溶胶-凝胶法(Sol-gel)、金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)。并介绍了在优化BST铁电薄膜性能方面所作的工作和取得的成果。
- 王波杨传仁陈宏伟张继华余桉张瑞婷
- 关键词:铁电薄膜
- LaAlO_3(110)基片上BST薄膜的制备及性能研究被引量:1
- 2009年
- 采用射频磁控溅射法在LaAlO3(110)单晶基片上制备了钛酸锶钡薄膜材料。薄膜在800℃退火30 min,结晶优良,薄膜与基片匹配良好,同时由于基片的诱导作用,薄膜在(110)方向有一定的择优取向。测得薄膜的剩余极化强度Pr=1.37μC/cm2,矫顽电场强度EC=31.7 kV/cm。对比不同频率下的偏压特性,100 kHz时薄膜具有最高的优值因子F,为23.4。对介电损耗在1 MHz时的增大,作出了初步的解释。
- 王波杨传仁陈宏伟张继华余桉张瑞婷
- 关键词:射频磁控溅射
- 铁电薄膜移相器研究进展被引量:1
- 2007年
- 铁电薄膜移相器响应速度快、成本低、功耗和体积小,是一种模拟移相器,非常适合应用于相控阵天线特别是共形阵天线。介绍了4种主要的铁电薄膜移相器的结构、原理、性能和特点,指出分布型和全通网络型铁电薄膜移相器具有良好的发展前景,并进一步总结了国内外研究现状和存在的问题,提出了今后的研究方向。
- 余桉杨传仁张继华陈宏伟王波张瑞婷
- 关键词:移相器铁电薄膜相控阵天线BST薄膜