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冯玉柱

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:西安交通大学更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇高压硅器件
  • 2篇硅器件
  • 1篇带电
  • 1篇电荷
  • 1篇光谱
  • 1篇光谱分析
  • 1篇红外
  • 1篇红外光
  • 1篇红外光谱
  • 1篇红外光谱分析
  • 1篇保护材料

机构

  • 2篇西安交通大学

作者

  • 2篇冯玉柱
  • 1篇徐传骧
  • 1篇张少云

传媒

  • 1篇绝缘材料通讯

年份

  • 1篇1989
  • 1篇1988
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
红外光谱分析在高压硅器件表面保护材料固化工艺研究中的应用
1989年
一、前言半导体表面,特别是高压硅器件的p-n结表面,对污染极为敏感,表面沾污严重地影响着硅器件的性能。因此,经过磨角,腐蚀后的半导体表面,必须用表面保护材料保护起来,因而,保护材料的性能直接影响着器件的性能。
冯玉柱张少云徐传骧
关键词:高压硅器件红外光谱分析保护材料
高压硅器件表面保护材料带电电荷变化规律的研究
冯玉柱
共1页<1>
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