刘敬明
- 作品数：25 被引量：73H指数：6
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- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术理学兵器科学与技术更多>>
- 金刚石自支撑膜的力学性能研究
- 化学气相沉积金刚石膜研究已经进入大规模工业化应用阶段,工具、热沉、光学和某些电子学应用（如探测器和传感器）已经形成了一定的市场,而金刚石膜平板显示和真空微电子器件、声表面波器件、微机电系统、电化学等应用研究也已经显示了极...
- 吕反修蒋政唐伟忠刘敬明宋建华杨武保佟玉梅
- 关键词：化学气相沉积力学性能
- 文献传递
- 宝钢SPHC钢卷的"腰折"
- 刘敬明
- 关键词：位错密度晶粒大小
- 大面积无衬底自支撑金刚石厚膜沉积被引量：12
- 2000年
- 讨论了在采用直流电弧等离子体喷射CVD工艺沉积大面积无衬底自支撑金刚石厚膜时遇到的若干技术问题．在制备过程中经常出现的膜炸裂现象，主要是由于膜和衬底材料线膨胀系数差异引起的巨大热应力，而衬底表面状态的控制、沉积过程中工艺参数的优化和控制也是一个重要的因素．因此，必须对整个金刚石厚膜沉积过程进行严格而系统的控制，才能有效地保证获得无裂纹大面积金刚石自支撑厚膜．
- 黄天斌刘敬明钟国仿唐伟忠佟玉梅吕反修
- CVD自支撑金刚石厚膜的氧化动力学研究被引量：1
- 2007年
- 为了了解直流等离子喷射CVD自支撑金刚石膜高温氧化机理,利用热失重的方法研究了金刚石膜在不同温度、不同氧浓度条件下的氧化反应。结果表明:CVD金刚石膜氧化反应中的反应指数大约为0.63,氧化反应的激活能为220kJ/mol。通过X-Ray和Ram an分析可知,CVD金刚石膜的氧化经历3个过程:1)金刚石膜表面氢的解吸和氧的吸附;2)金刚石与氧发生化学反应;3)金刚石氧化产物(CO、CO2)的解吸。
- 刘敬明吕反修
- 关键词：CVD金刚石膜高温氧化氧化动力学
- 类金刚石膜在模具中的应用被引量：1
- 2007年
- 阐述了类金刚石膜的结构和力学性能,介绍了类金刚石膜在各种模具上的应用。类金刚石膜能有效提高模具使用寿命,降低模具使用成本。分析了目前类金刚石膜在模具上的应用和推广中存在的障碍。
- 刘敬明曹凤国吴桂琴
- 关键词：类金刚石膜力学性能
- 模具制造流程中的编码
- 2006年
- 以生产级进模及备件企业的条码管理为基础,提出了建立模具生产涉及的人员、物的条码编制规则和方法,对模具企业或制造型企业的条码编制具有一定的借鉴作用。
- 刘敬明吴桂琴郭晋
- 关键词：级进模条形码
- 高质量自支撑CVD金刚石膜的氧化行为被引量：2
- 2007年
- 研究了气体循环模式下的直流等离子体喷射CVD自支撑高质量金刚石厚膜高温氧化行为。结果表明,金刚石膜在大约650℃开始氧化,氧化速度随着温度的升高而快速增加;高温氧化将导致金刚石膜的力学、光学和热学性能的下降,多晶金刚石膜晶界的优先氧化损伤是造成其综合性能下降的主要原因。高质量的自支撑金刚石膜不适合在空气中700℃以上长时间工作,但在800℃以下短时间(3min内)工作是安全的。
- 刘敬明吕反修
- 大面积金刚石膜的均匀沉积被引量：1
- 2000年
- 研究了大面积金刚石膜沉积过程中的均匀性问题和金刚石膜质量的均匀性问题．研究表明：用于生长金刚石膜的大面积磁旋转等离子体电弧是均匀的，能使气体混合均匀：金刚石膜在形核阶段是均匀的；金刚石膜在生长阶段是均匀的，有利于提高成膜几率：沉积后的金刚石膜的质量是均匀的．大面积磁控长通道等离子矩能生长均匀的金刚石膜，可用于金刚石膜的研究和工业生产，
- 黄天斌刘敬明唐伟忠钟国仿蒋政吕反修
- 关键词：金刚石膜
- 大面积化学气相沉积金刚石自支撑膜氧化性能的研究
- 刘敬明
- 关键词：热失重红外透过率
- 文献传递
- 激光复合加工技术的应用及发展趋势被引量：8
- 2006年
- 介绍了激光与其他加工方法进行复合的加工技术,分析了这些复合加工方法的特点、优势及应用,展示了未来激光复合加工技术的发展趋势。
- 刘敬明曹凤国
- 关键词：激光加工
