刘民
- 作品数：34 被引量：29H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信理学更多>>
- 静电计检测微位移的原理和实验
- 2008年
- 该文叙述一种电容式微位移静电计测量方法。该方法中,静电计测量的可变电容两电极间电位差可直接转换为位移,其原理,最终公式和测试电路相当简单,而分辨率,预期能达到nm量级。用静电计——平行板电容测量装置对振动或冲击引起的微位移进行测量的实验结果验证了上述结论。
- 陆德仁鲍海飞刘民
- 关键词：微位移静电计电容
- 利用波形比较法进行高量程加速度传感器横向响应的测试研究被引量：2
- 2009年
- 提出一种高量程加速度传感器横向响应的测试方法——波形可识别的比较法,对高量程加速度传感器非敏感方向(横向)的输出特性进行测试研究。实验中采用自由落杆的方法,将已经标定过的传感器和带测试的传感器以背对背的方式进行安装,通过同时比较监控两通道的输出波形,可以确定器件的横向灵敏度。此方法简单可靠,并容易实施,对测试中产生的误差进行分析。
- 鲍海飞宋朝辉李昕欣刘民张鲲陆德仁
- 关键词：微机电系统
- 高阶谐振模态的超高质量分辨硅微悬臂梁压阻传感器被引量：3
- 2006年
- 开发了一种在空气中具有几十飞克质量分辨率的谐振式微机械悬臂梁生化质量检测传感器.在悬臂梁上面实现了使用惠斯通压阻电桥检测和洛伦兹力线圈驱动集成结构.与通常的一阶模态谐振传感器不同,为了显著提高传感器特异性反应吸附质量以实现分子水平的检测分辨率,提出了一种二阶弯曲谐振模态优化驱动的方法.在悬臂梁上集成了一种回形针状的驱动电流回路,实现了与第二模态悬臂梁运动两个相反运动峰值相吻合的两处同时反方向驱动.研究中采用硅微机械技术实现了集成谐振悬臂梁的制作,并研制出了高性能的谐振传感器闭环接口电路.在空气中进行谐振实验,与传统一阶模态传感器相比,采用该优化驱动的二阶模态,谐振品质因数从195提高到857,谐振频率从49·156提高到298·132kHz,采用Allen方差的方法对谐振频率噪声进行分析,表明该优化驱动的二阶模态传感器将传统的一阶模态传感器质量分辨率从0·17改善到0·029pg,达到了4个痘病毒的质量分辨水平.
- 刘剑李昕欣金大重刘民王跃林左国民余海涛包菡涵
- 关键词：悬臂梁
- 两维碰撞加速度传感器及其实用化被引量：1
- 2009年
- 基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥,在500 g的量程下,灵敏度达到0.3 mV/g/5 V,固有频率15k Hz.传感器贴装在PCB板上,由经济实用的放大电路进行处理,可以实现两维的加速度测量,电压输出1～4 V,带宽500 Hz.传感器在车辆运输等实际环境下进行了试用,性能可靠稳定,具有良好的实用化前景。
- 周伟刘民姜伟李昕欣
- 关键词：加速度传感器压阻碰撞实用化
- 压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法
- 本发明涉及提供一种压阻加速度传感器的模态共振频率的测试方法。其特征在于在保持压阻加速度传感器原有全桥电路连接结构的基础上，利用金属碰撞冲击产生丰富的频谱作为激励源，通过适当的外接电路，采用半桥输出的形式，以获得加速度传感...
- 鲍海飞李昕欣宋朝辉刘民
- 文献传递
- 一种带有频率自扫描功能的锁相环
- 本发明提供一种带有频率自扫描功能的锁相环，应用在传感器及其接口电路中，包括：用以输出一频率两倍于输入信号或参考信号且占空比为50%的方波信号的鉴相器，对方波信号的高、低电平持续时间进行计数的超前滞后计数器，预设有相位锁定...
- 柴光飞刘民李昕欣于海涛
- 文献传递
- 基于DSP的集成谐振式微悬臂梁便携式气体检测仪被引量：5
- 2018年
- 针对集成谐振式微悬臂梁气体检测仪小型化的问题,利用DSP(数字信号处理)设计和实现了可快速现场检测的便携式气体检测仪。该仪器基于DSP28335开发,采用开环自动扫频与闭环锁相检测相结合的方式。闭环测试核心是软件锁相环的设计,其中采用DFT(离散傅里叶变换)算法提取相位差,提高了运算的速度和计算相位差的精度。软件设计跟踪算法使其能够一直跟踪频率变化,使锁相更快,精度更高。结合实验室研制的微悬臂梁传感器制备了便携式二甲苯气体检测仪,并对浓度低至30 ppm的二甲苯气体进行了实测,验证了该仪器具有快速的响应速度和检测重复性。
- 徐善轩任伟吴伟任艳波刘民彭欣李昕欣于海涛
- 关键词：气体检测仪DSP软件锁相环频率跟踪
- 一种带有频率自扫描功能的锁相环
- 本发明提供一种带有频率自扫描功能的锁相环，应用在传感器及其接口电路中，包括：用以输出一频率两倍于输入信号或参考信号且占空比为50%的方波信号的鉴相器，对方波信号的高、低电平持续时间进行计数的超前滞后计数器，预设有相位锁定...
- 柴光飞刘民李昕欣于海涛
- 压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法
- 本发明涉及一种压阻加速度传感器的模态共振频率的测试方法。其特征在于在保持压阻加速度传感器原有全桥电路连接结构的基础上，利用金属碰撞冲击产生丰富的频谱作为激励源，通过适当的外接电路，采用半桥输出的形式，以获得加速度传感器模...
- 鲍海飞李昕欣宋朝辉刘民
- 文献传递
- 带有温度控制的离心机转盘温度测试系统
- 本发明提供一种带有温度控制的离心机转盘温度测试系统，带有温度控制的离心机转盘温度测试系统包括：导电滑环，位于转盘的表面，包括主体、固定接线柱、固定轴及多组引出线；固定接线柱位于主体外围，固定轴位于主体内部，引出线一端经由...
- 鲍海飞刘民李昕欣
- 文献传递
