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刘玲
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
辽宁大学物理系
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
姚朋军
辽宁大学物理系
范军
辽宁大学物理系
张宏
辽宁大学物理系
张宏庆
辽宁大学物理系
沈桂芬
辽宁大学物理系
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年份
1篇
2003
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TMAH腐蚀液的研究
被引量:2
2003年
TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液。文章通过大量对比实验,对该腐蚀液用于<100>、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率,得出重要结论。此研究对正确使用TMAH腐蚀液有重要指导意义。
沈桂芬
姚朋军
张宏
刘玲
张宏庆
范军
关键词:
TMAH
粗糙度
腐蚀速率
各向异性
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