- 磁头用软磁Fe-Co-Al-O薄膜的结构和性能被引量：4
- 2009年
- 用射频磁控溅射方法制备了记录磁头用FeCoAlO薄膜软磁材料,与FeCo合金薄膜相比,FeCoAlO薄膜的软磁性能有明显改善。(Fe72Co28)100-x(Al2O3)x薄膜的饱和磁感应强度Bs在x=3.1～5.9范围内基本保持恒定,当x>5.9时,饱和磁感应强度急剧降低;其矫顽力随Al2O3含量的增加迅速降低。当Al2O3含量为5.9时,薄膜的矫顽力由未加Al2O3时的3580A/m下降到Hce≈418A/m,Hch≈289A/m,饱和磁感应强度Bs=2.15T;薄膜还表现出良好的高频特性,当频率f≤1.0GHz时,磁导率μ≈500。结构分析表明,薄膜中软磁性能的改善和添加Al2O3导致的晶粒细化有关。
- 卢佳郑富王璇刘立旺张璐然魏福林
- 关键词：纳米晶软磁性能
