吕少波
- 作品数：7 被引量：13H指数：2
- 供职机构：东北大学机械工程与自动化学院更多>>
- 发文基金：沈阳科学技术计划项目辽宁省科学技术基金辽宁省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术医药卫生更多>>
- 射频辉光放电CH_4等离子体一维流体动力学模拟被引量：2
- 2011年
- 完整建立一个关于射频辉光放电CH4等离子体的流体动力学模型.模型包括基于迁移-扩散近似的粒子平衡方程、电子能量平衡方程,共包含了20种粒子(环境气体粒子,激发态粒子,离子和电子)和49类化学反应(电子-中性环境粒子、离子-中性环境粒子、激发态粒子-激发态粒子(中性环境粒子)).结果表明,在强电场区域有较高的电子反应率系数;等离子体中除源气体CH4外,H2,C2H6,C3H8,C2H4和C2H2也有较高的密度含量;激发态粒子中,CH3含量最高,密度约为1019m-3;在较低放电压力时(如18 Pa),CH5+在离子成分中密度含量最高,当放电压力较高时(如67Pa),C2H5+在离子成分中占主导地位;除C2H5+外,其它各离子和激发态粒子在极板上的粒子流量随功率的增大逐渐升高.
- 吕少波蔺增巴德纯王庆
- 关键词：射频辉光放电流体动力学模型玻尔兹曼方程
- 面向心血管应用的电子束蒸发氧化钛薄膜的特性——润湿性与血液相容性被引量：3
- 2009年
- 用电子束蒸发的方法在钛盘上沉积氧化钛薄膜以检验其在心血管支架方面的应用.用接触角仪测定水滴在所制备氧化钛薄膜表面的接触角,随着沉积过程中氧气流量的增加,薄膜的接触角不断降低,经过热处理后薄膜的亲水性得到了增强.通过观察猪主动脉平滑肌细胞(PASMC)在样品表面的生长行为,研究薄膜的结构与细胞活性的关系.结果表明,覆有薄膜的钛盘具有更好的生物相容性,而沉积后的热处理能够进一步改善氧化钛薄膜的生物相容性.通过观察血小板的吸附行为研究薄膜的血液相容性,发现在所制备的氧化钛薄膜上吸附了极少的血小板.研究结果表明,用电子束蒸发制备的氧化钛薄膜能够用于心血管支架的表面改性.
- 蔺增吕少波林铁源巴德纯
- 关键词：氧化钛薄膜电子束蒸发润湿性血小板
- 射频容性放电Ar等离子体离子能量分布和角度分布
- 2010年
- 通过MC模型对射频容性Ar等离子体中离子入射的能量及其分布特性进行了模拟计算,结果表明,放电压力低时,高能量离子分布较多,且在高能区域分布曲线呈双峰形式,离子入射的角度较小;放电压力高时,低能量离子分布较多,能量分布曲线偏向于低能量区域,且高能峰消失,离子入射角度增大;放电电压升高,离子能量分布曲线向高能区域移动,能峰之间的距离变长,角度分布曲线向小角度区域移动;随着自偏压升高,入射离子的能量增大,能量分布曲线向高能量区域移动,能峰间距变化不大,离子入射角度减小。法拉第离子能量分析器的测试结果表明,低放电压力时,离子能量较高且在高能区域呈双峰形式,高放电压力时,离子能量较低且能量分布高能峰消失。
- 吕少波蔺增巴德纯王庆
- PMMA基底含氢非晶碳膜的结构和摩擦学性能被引量：7
- 2008年
- 分别用磁控溅射和等离子体增强化学气相沉积方法在PMMA基底上沉积硅膜和含氢非晶碳(a-C:H)膜.用氩离子溅射硅靶制备硅膜,以甲烷和氢气为反应气体在不同自偏压下制备非晶碳膜.分别用原子力显微镜、X射线光电子能谱和紫外拉曼光谱表征薄膜的形貌和结构,并分别用纳米压痕仪和栓盘摩擦磨损试验机测试其机械和摩擦学性能.结果表明,沉积碳膜的PMMA基底呈现出高硬度、低摩擦系数和低磨损率的特性.碳膜的显微结构、机械和摩擦学特性均显著依赖薄膜沉积过程中使用的自偏压,其摩擦系数和磨损率与其硬度和sp^3含量密切相关.
- 蔺增李明吕少波林铁源巴德纯In-Seop Lee
- 关键词：无机非金属材料含氢非晶碳膜等离子体增强化学气相沉积PMMA摩擦学性能
- 射频辉光放电CH_4等离子体中电子的能量分布被引量：1
- 2011年
- 通过求解Lorentz简化的玻尔兹曼方程,得到射频放电CH4等离子体中电子的能量分布函数.求解过程中使用一个简化的射频电场模型代替泊松方程求解放电电场.共计包含6类环境气体及27种电子碰撞反应.通过EEDF对等离子体中的电子反应率系数、电子平均能量、电子的传输率系数等进行求解分析.结果表明,在等离子体鞘层区域电子能量具有Maxwell分布形式,在正柱区域具有Druyvesteyn分布形式.最高电子能量和最大反应率系数出现在鞘层区域.电子的迁移率系数和扩散率系数随射频周期的演化时空分布不均匀.
- 吕少波蔺增王庆巴德纯
- 关键词：玻尔兹曼方程
- 射频负偏压等离子体鞘层流体动力学模拟
- 2008年
- 采用流体动力学方法建立了一种自洽的无碰撞射频直流偏压等离子体鞘层动力学模型.模型中考虑了极板直流负偏压对离子运动的影响,模拟了在不同偏压条件下射频等离子体鞘层内各参量的时空演化特性.在该模型中,认为鞘层厚度是与时间有关的函数,并采用等效电路模型建立了鞘层瞬时厚度与鞘层电位降的关系.模拟结果表明,极板上电势呈非正弦周期性变化;鞘层厚度变化与极板电势变化周期相同,趋势相反,且略滞后于射频周期.
- 吕少波蔺增巴德纯李麟涉
- 关键词：射频等离子体鞘层流体动力学模型
- PVD和CVD过程中等离子体物理特性混合模拟及实验研究
- 基于等离子体技术的物理气相沉积/(Physical Vapour Deposition, PVD/)和化学气相沉积/(Chemical Vapour Deposition, CVD/)是目前低温制备薄膜材料最常用的方法,...
- 吕少波
- 关键词：波尔兹曼方程流体动力学模型混合模型
- 文献传递
