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周威

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域：文化科学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学

主题

  • 3篇数据采集
  • 3篇数据采集和控...
  • 3篇微机电系统
  • 3篇机电系统
  • 3篇电系统
  • 2篇三维形貌
  • 2篇可靠性
  • 2篇可靠性评估
  • 2篇环境控制
  • 2篇光学
  • 2篇测试装置
  • 1篇增透
  • 1篇增透膜
  • 1篇力学性能
  • 1篇密闭环境
  • 1篇模量
  • 1篇膜片
  • 1篇挠度
  • 1篇挠度测量
  • 1篇激光

机构

  • 5篇中国科学院

作者

  • 5篇周威
  • 4篇杨富华
  • 4篇杨晋玲
  • 3篇朱银芳
  • 3篇周美强
  • 1篇唐龙娟

年份

  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 2篇2009
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置及方法
一种微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置，包括：一光学测量单元，用于测量微机电系统机械组元的轮廓曲线，获得被测微机电系统机械组元在失效前后的三维形貌信息或动态位移信息；一环境腔室，用于放置被测微机电系统机械组元，所述各...
杨晋玲周威周美强朱银芳杨富华
微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置及方法
一种微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置，包括：一光学测量单元，用于测量微机电系统机械组元的轮廓曲线，获得被测微机电系统机械组元在失效前后的三维形貌信息或动态位移信息；一环境腔室，用于放置被测微机电系统机械组元，所述各...
杨晋玲周威周美强朱银芳杨富华
文献传递
适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片
本实用新型公开了一种适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片，该光学窗口片包括：光学玻片(101)；蒸镀在光学玻片(101)正面的正面增透膜(102)；以及蒸镀在光学玻片(101)背面的背面增透膜(103)。该光学窗口片使用...
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文献传递
微机电系统薄膜材料力学性能与可靠性测试方法和装置
本发明公开了一种微机电系统薄膜材料力学性能与可靠性测量方法和相应的测试装置。通过将具有悬浮膜片的薄膜测试结构固定在具有气体通道的样品台上，通过向悬浮膜片一侧施加差分压力使悬浮膜片向另一侧变形凸起，测量在外加压力下的膜片中...
杨晋玲周威杨富华
文献传递
微机电系统薄膜材料和悬臂梁结构的力学性能与可靠性研究
微纳尺度材料和器件的可靠性表征是微机电系统(MEMS)发展的关键技术之一。目前，MEMS薄膜材料和器件的力学性能和可靠性研究相对落后于MEMS器件技术的发展，成为MEMS实现产业化的瓶颈。因此，迫切需要开发适用于MEMS...
周威
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