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孔昭荣

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：光明化工研究设计院更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇电子气体
  • 1篇气体
  • 1篇吸附剂
  • 1篇净化技术
  • 1篇高纯
  • 1篇高纯气
  • 1篇高纯气体
  • 1篇纯化器

机构

  • 1篇光明化工研究...

作者

  • 1篇孙福楠
  • 1篇陈国忠
  • 1篇孔昭荣
  • 1篇李康善
  • 1篇朱心才
  • 1篇孔祥芝
  • 1篇陈莉纯

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
电子化学气体及高纯气体终端纯化器和净化技术
陈莉纯孙福楠孔祥芝朱心才孔昭荣李康善陈国忠
一、成果内容简介：电子化学气体电子工业中超大规模集成电路微细加工过程中的关键性基础化工材料，主要用于外延、刻蚀和腐蚀等工艺；高纯氢和高纯氮主要用作运载气、保护气和混合气的底气。电子化学气和高纯气的纯度和洁净直接集成电路的...
关键词：
关键词：高纯气体电子气体吸附剂
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共1页<1>
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