朱效谷
- 作品数：14 被引量：30H指数：3
- 供职机构：清华大学机械工程学院机械工程系更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：交通运输工程金属学及工艺电子电信机械工程更多>>
- 基于双电层电容的微细电解加工间隙的在线检测被引量：7
- 2013年
- 根据微细电解加工中工具电极下端面面积远小于工件表面的非对称特征，在水基中性盐钝性电解液侧流冲入和金属电极处于钝化状态的条件下，提出了一种基于双电层电容的微细电解加工间隙的在线检测方法．在微细工具电极和／或工件上不外加传感器的前提下，利用工具电彬溶液界面上双电层电容值随加工间隙增大而单调递增的变化关系，精确、快速地实现加工间隙的在线检测．在冲液速度为1．058m／s的条件下，当加工间隙在O．100μm时，可在数毫秒内在线检测出微细电解加工间隙的大小，数值仿真与实验测量值之间的最大相对误差小于10％．为实现高精度、高质量、稳定的微细电解加工提供必要条件．
- 孔全存李勇朱效谷佟浩刘桂礼
- 关键词：微细电解加工在线检测双电层
- 柔性MEMS减阻蒙皮的制造方法
- 本发明公开一种柔性MEMS减阻蒙皮的制造方法，属于微加工领域，主要是为了提供一种改进的制造工艺而设计。本发明所述的制造方法，包括如下步骤：制备含有与蒙皮表层微凹坑形状相反的微凸柱阵列的模具；以聚合物的预聚物填充模具并固化...
- 李勇李文平朱效谷
- 微尺度下台阶结构对气泡的约束作用及临界失效体积被引量：2
- 2012年
- 利用微气泡的特殊性能的微流体器件因其独特的优势而受到越来越多的关注,其中很多情况下,器件功能的实现要求气泡必须被约束住从而可控地生长或收缩.表面张力是微尺度下一种造成气泡偏移的重要因素,对台阶结构阻碍气泡因表面张力而发生偏移的作用进行了研究.制作了底部布置有电极的台阶试件,并进行了水中电解的实验,观察了微气泡的生长过程.实验观察证实了台阶的约束效果,同时也发现了约束失效的现象.在数值模拟和分析的基础上提出了台阶约束的临界失效体积,并针对二维气泡模型给出了临界体积的解析解.使用台阶结构可以通过设计合理的台阶高度来简便地实现对所需体积的气泡的约束.
- 朱效谷黄伟峰李勇
- 关键词：微气泡接触角
- 微细电解加工用电极的侧壁绝缘及应用实验被引量：11
- 2009年
- 介绍了一种微细电解加工用电极的侧壁绝缘方法及其应用实验。采用旋涂法在电极表面涂敷液态环氧树脂并固化处理，重复该过程形成多层绝缘薄膜，用机械磨削法去除电极端部的绝缘膜，使电极端面导电。通过基础工艺实验优化了旋涂法工艺参数，通过对比实验验证了侧壁绝缘电极的微孔加工效果。旋涂法可制得膜厚为5～10 μm的侧壁绝缘电极，采用该电极加工可显著减小微孔直径及锥度，提高微细电解加工尺寸精度。
- 刘改红李勇陈旭鹏马晓宇朱效谷
- 关键词：微细电解加工微细电极微细孔
- 一种PDMS微流体器件中通孔结构的制作方法
- 一种PDMS微流体器件中通孔结构的制作方法，在预备好的含有凸柱的模具的边缘注入PDMS预聚物；凸柱的形状和尺寸与所需制备的通孔层中通孔的形状和尺寸一致，其中，凸柱的高度与需要获得的通孔层的厚度一致；利用毛细力的作用使PD...
- 李勇朱效谷周凯
- 文献传递
- 基于VOF方法的驻留微气泡形状稳定性仿真研究被引量：2
- 2016年
- 亚微米级的驻留微气泡在强剪切流中发生变形,会导致将气泡简化为完全滑移刚性壁面而进行的数值仿真出现明显误差。文中采用了VOF方法求解驻留微气泡的气—液两相流平板Couette流场模型,利用剪切流粘性力与表面张力的比值毛细数Ca作为判据,得到了Ca=0.1作为亚毫米尺度微气泡在剪切流中发生显著变形的临界值,并将Ca<<0.1作为将驻留微气泡简化为完全滑移刚性壁面的适用条件。通过仿真得出滑移长度随毛细数增大而减小,当毛细数超过0.1时,驻留微气泡起到增阻作用。在微气泡不发生严重变形的前提下,选择尽量大尺寸的气泡有利于提高减阻效果。
- 周凯朱效谷李勇
- 关键词：减阻
- 柔性MEMS减阻蒙皮的制造方法
- 本发明公开一种柔性MEMS减阻蒙皮的制造方法，主要是为了提供一种改进的制造工艺而设计。本发明所述的减阻蒙皮的制造方法，包括：步骤1、在基底上制备一层中间夹层；步骤2、在完成步骤1的所述基底上制备一层柔性衬底；步骤3、在完...
- 李勇李文平朱效谷
- 文献传递
- 柔性MEMS减阻蒙皮设计及其制作工艺被引量：2
- 2012年
- 提出了一种电解水式驻留微气泡减阻的柔性微机电系统(MEMS)蒙皮技术,研究了蒙皮结构设计以及加工工艺。设计了一种包含柔性基底层、金属电极图案层和微凹坑阵列层的三层式蒙皮结构,提出了两种基于MEMS工艺的制作方法。分别采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)和SU-8胶材料制作了微凹坑阵列层,并对其关键工序进行了实验研究。以SU-8胶为微凹坑阵列材料制作了柔性MEMS蒙皮样件。所制样件中,圆柱形驻气凹坑的直径为40μm、深度为50μm、密度为6.25×104/cm2、样件总厚度为90μm,可弯曲并贴附于截面直径为28mm的圆柱体表面而不损坏。结果显示了MEMS减阻蒙皮工艺的可行性,证明将电解水式驻留微气泡的柔性减阻蒙皮设计与MEMS工艺有机结合,是一种航行体表面减阻的有效技术途径。
- 李勇李勇李文平
- 关键词：微气泡SU-8胶
- 一种PDMS微流体器件中通孔结构的制作方法
- 一种PDMS微流体器件中通孔结构的制作方法，在预备好的含有凸柱的模具的边缘注入PDMS预聚物；凸柱的形状和尺寸与所需制备的通孔层中通孔的形状和尺寸一致，其中，凸柱的高度与需要获得的通孔层的厚度一致；利用毛细力的作用使PD...
- 李勇朱效谷周凯
- 文献传递
- 柔性MEMS减阻蒙皮的制造方法
- 本发明公开一种柔性MEMS减阻蒙皮的制造方法，主要是为了提供一种改进的制造工艺而设计。本发明所述的减阻蒙皮的制造方法，包括：步骤1、在基底上制备一层中间夹层；步骤2、在完成步骤1的所述基底上制备一层柔性衬底；步骤3、在完...
- 李勇李文平朱效谷
