朴相镐
- 作品数：13 被引量：59H指数：5
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：动力工程及工程热物理电气工程核科学技术机械工程更多>>
- 环境振动能收集系统的微型压电悬臂梁设计与制作被引量：8
- 2008年
- 研制长寿稳定电源已经成为微型无线传感网络中的关键技术之一,现有的化学电池容量有限,需要不断的逐个更换耗尽的电池,难以满足无线传感网的实际应用。本文提出利用压电材料的机电耦合特性收集环境振动能,该类型微电源有望成为MEMS提供长期电能。首先分析了利用压电材料收集振动能的原理,对微型悬臂梁结构的设计进行了简单的分析,重点介绍了用MEMS工艺加工微型悬臂梁的工艺流程。悬臂梁结构采用体硅和面硅加工工艺相结合,体硅工艺包括湿法和干法刻蚀硅及表面层结构,金属Pt层刻蚀等,面硅工艺包括溅射金属薄膜和利用Sol-Gel方法在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上制作锆钛酸铅(Pb(Zr0.52Ti0.48)O3,PZT)压电薄膜等。经过反复工艺实验研究,确定一套稳定的微型压电能源的制作工艺流程。
- 杜小振褚金奎张海军朴相镐
- 关键词：微电源PZTMEMS
- 一种沟槽式同位素微电池上电极的制作方法
- 本发明一种沟槽式同位素微电池上电极的制作方法，属于微机械电子系统中的微能源领域。采用SU8胶剥离工艺制作沟槽式同位素微电池的上电极，采用P型硅为衬底；在P型硅表面热氧化SiO<Sub>2</Sub>掩膜层；用掩膜版光刻，...
- 褚金奎朴相镐王培超
- 文献传递
- 基于微型悬臂梁的发电机制探索
- 微机电系统(MEMS)微型化过程中,要求电源装置也必须向微型化发展.本文在现有微电源研究基础上,结合微型硅悬臂梁的力学分析以及压电晶体材料压电效应特性,提出一种新的压电陶瓷(PZT)微型硅悬臂梁发电装置.借助微型硅悬臂梁...
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- 关键词：压电陶瓷微机电系统
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- 基于β辐射伏特效应的同位素微电池理论模型研究被引量：8
- 2006年
- 随着微型机械电子系统(MEMS)的发展,微能源逐渐成为MEMS应用中的一个非常关键的问题。在同时考虑了同位素的选择及其衰变类型、粒子能谱、放射粒子能量损失率、半导体特性、载流子的产生与复合等因素的基础上,提出了一个基于β辐射伏特效应的同位素微电池的理论模型。可以用该模型计算出微电池的短路电流和开路电压。得到的模拟结果比引用文献结果稍高,还得到了表面掺杂浓度、结深以及放射粒子活度对电池输出参数的影响。
- 褚金奎朴相镐吴红超
- 关键词：微型机械电子系统
- 一种沟槽式同位素微电池上电极的制作方法
- 本发明一种沟槽式同位素微电池上电极的制作方法，属于微机械电子系统中的微能源领域。采用SU8胶剥离工艺制作沟槽式同位素微电池的上电极，采用P型硅为衬底；在P型硅表面热氧化SiO<Sub>2</Sub>掩膜层；用掩膜版光刻，...
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- 文献传递
- 微能源的研究现状及发展趋势
- 电子产品小型化、微型化、集成化是当今世界技术发展的大势所趋.随着微机电系统(MEMS)技术的发展,与之相关的微能源技术得到人们更多的重视.人们希望MEMS技术和微能源技术互为促进,运用MEMS技术工艺改善和提高微能源的性...
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- 关键词：微机电系统
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- 压电发电微电源国外研究进展被引量：34
- 2008年
- 微加工技术极大地促进了各类传感器系统的微型化、集成化,使微机电系统(MEMS)功能越来越强,功耗、体积越来越小,而微能源部分却日益成为MEMS微型化设计的瓶颈。该文系统介绍了一种在MEMS应用中有极具发展潜力的能源供应方式——压电微能源。压电微能源可通过收集环境能量来发电,具有长寿命、高能量密度、与MEMS工艺兼容等优点,在微系统中具有广泛的应用前景。
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- 关键词：微电源压电发电
- 基于辐射伏特效应的同位素微电池研究
- 朴相镐
- 一种同位素电池制作方法及结构
- 本发明一种同位素电池制作方法及结构属于微机械电子系统中的微能源领域。同位素电池制作方法是首先采用P型硅片为衬底，作为P型区；然后在P型区的上表面掺杂磷，形成N型区和PN结4；在P型区的下表面掺杂硼，形成P<Sup>+</...
- 褚金奎朴相镐杜小振王培超
- 文献传递
- 微能源的研究现状及发展趋势
- 电子产品小型化、微型化、集成化是当今世界技术发展的大势所趋。随着微机电系统(MEMS)技术的发展,与之相关的微能源技术得到人们更多的重视。人们希望MEMS技术和微能源技术互为促进,运用MEMS技术工艺改善和提高微能源的性...
- 朴相镐褚金奎吴红超杜小振
- 文献传递
