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李智

作品数：16 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 14篇专利
  • 2篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 5篇量子
  • 4篇激光
  • 4篇激光直写
  • 3篇真空管道
  • 3篇量子点
  • 3篇互联系统
  • 3篇传输系统
  • 2篇底盘
  • 2篇定位机构
  • 2篇动力传递
  • 2篇压板
  • 2篇应用激光
  • 2篇真空系统
  • 2篇拾取
  • 2篇图形化
  • 2篇偏转
  • 2篇片盒
  • 2篇逐行
  • 2篇限位
  • 2篇小车

机构

  • 16篇中国科学院
  • 1篇谢菲尔德大学

作者

  • 16篇李智
  • 10篇张宝顺
  • 6篇张永红
  • 5篇王荣新
  • 4篇刘德利
  • 4篇杨辉
  • 4篇黄荣
  • 4篇曾中明
  • 4篇吴燕华
  • 4篇张子旸
  • 2篇王劼

传媒

  • 2篇第十一届全国...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 3篇2017
  • 4篇2016
  • 3篇2015
  • 1篇2014
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
真空环境下的样品传输系统
本发明公开了一种真空环境下的样品传输系统，包括若干传输单元和位于传输单元中的传输车，传输单元包括：支架；真空管道，固定安装于支架上，真空管道上设有若干对接口，传输车可移动地设置于真空管道中；抽真空装置，与真空管道相连通，...
李智王劼黄思涵张永红
激光直写制备的纳米图形衬底上量子点、量子的定位生研究
高质量、尺寸均匀、位置可控外延生长的量子点、量子线结构在单光子器件、单电子器件、半导体激光器等多个方面有着很广阔的应用前景.目前人们多采用纳米压印技术、电子束曝光技术、聚焦离子束技术与干法或湿法蚀刻技术相结合的工艺来制作...
黄荣李智张子旸
应用于超高真空环境的样品传输系统及方法
本发明公开了一种应用于超高真空环境的样品传输系统及方法。该传输系统包括分布于真空互联系统内对样品小车有转向要求的选定位置处的换向中转室，所述换向中转室内部设有用于承载样品小车的可旋转轨道，并且所述可旋转轨道可在驱动机构驱...
刘德利张宝顺张永红王荣新李智
文献传递
真空环境中器件图形化制备方法
真空环境中器件图形化制备方法，包括以下步骤：将衬底置于真空环境中；在衬底上设有用于制备器件图形的掩膜板；掩膜板连接用于操作掩膜板的移动平台；移动平台将掩膜板定位在衬底上；采用物理气相沉积方式在衬底上沉积器件材料。本发明还...
王荣新李智
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基于激光直写工艺的量子结构的定位生长方法
本发明公开了一种基于激光直写工艺的量子结构的定位生长方法，包括应用激光直写工艺刻写刻蚀结构图形步骤：首先控制激光直写的曝光光斑沿光刻胶层的第一方向刻写，形成一行的曝光光斑，然后再逐行刻写，最终在光刻胶层上形成M行×N列的...
黄荣张子旸李智黄源清张宝顺
文献传递
用于超高真空系统的样品拾放装置
本发明公开了一种用于超高真空系统的样品直接拾放装置，包括：共圆周设置的复数卡盘片；以及，螺旋伸缩机构，用以在驱动机构的驱动下驱使该复数卡盘片沿共圆周的径向收缩或张开。其中所述螺旋伸缩机构包括：一字槽限位盘，包含复数一字限...
刘德利张宝顺张永红王荣新李智
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应用于超高真空环境的样品传输系统及方法
本发明公开了一种应用于超高真空环境的样品传输系统及方法。该传输系统包括分布于真空互联系统内对样品小车有转向要求的选定位置处的换向中转室，所述换向中转室内部设有用于承载样品小车的可旋转轨道，并且所述可旋转轨道可在驱动机构驱...
刘德利张宝顺张永红王荣新李智
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一种机械手操作系统
本发明揭示了一种机械手操作系统，包括真空腔室、位于真空腔室内的双头机械手以及位于真空腔室外的驱动装置，所述的双头机械手和驱动装置之间设有传动装置，驱动装置通过传动装置将动力传递至双头机械手，并驱动所述双头机械手进行双向伸...
吴燕华李智曾中明张宝顺杨辉
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基于激光直写工艺的量子结构的定位生长方法
本发明公开了一种基于激光直写工艺的量子结构的定位生长方法，包括应用激光直写工艺刻写刻蚀结构图形步骤：首先控制激光直写的曝光光斑沿光刻胶层的第一方向刻写，形成一行的曝光光斑，然后再逐行刻写，最终在光刻胶层上形成M行×N列的...
黄荣张子旸李智黄源清张宝顺
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用于超高真空系统的样品拾放装置
本发明公开了一种用于超高真空系统的样品直接拾放装置，包括：共圆周设置的复数卡盘片；以及，螺旋伸缩机构，用以在驱动机构的驱动下驱使该复数卡盘片沿共圆周的径向收缩或张开。其中所述螺旋伸缩机构包括：一字槽限位盘，包含复数一字限...
刘德利张宝顺张永红王荣新李智
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