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李铁

作品数：351 被引量：138H指数：6
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 230篇专利
  • 74篇期刊文章
  • 25篇会议论文
  • 20篇科技成果
  • 2篇学位论文

领域

  • 81篇电子电信
  • 54篇自动化与计算...
  • 25篇一般工业技术
  • 19篇理学
  • 16篇电气工程
  • 6篇机械工程
  • 3篇化学工程
  • 3篇医药卫生
  • 2篇生物学
  • 2篇文化科学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇环境科学与工...

主题

  • 93篇传感
  • 92篇感器
  • 92篇传感器
  • 85篇纳米
  • 52篇纳米线
  • 44篇硅纳米线
  • 43篇红外
  • 39篇气体传感
  • 39篇气体传感器
  • 31篇刻蚀
  • 30篇探测器
  • 29篇电阻
  • 24篇各向异性腐蚀
  • 23篇微机械
  • 23篇场效应
  • 23篇磁电
  • 23篇磁电阻
  • 22篇石墨
  • 22篇石墨烯
  • 20篇巨磁电阻

机构

  • 304篇中国科学院
  • 42篇中国科学院上...
  • 9篇中国科学院研...
  • 8篇东南大学
  • 8篇北京正旦国际...
  • 7篇浙江大学
  • 7篇中国科学院大...
  • 3篇上海师范大学
  • 3篇中科院上海微...
  • 2篇上海交通大学
  • 2篇上海大学
  • 2篇中国计量学院
  • 2篇中国航天员科...
  • 2篇军事科学院系...
  • 2篇上海新漫传感...
  • 1篇九江学院
  • 1篇山东大学
  • 1篇上海科技大学
  • 1篇中北大学
  • 1篇华中理工大学

作者

  • 351篇李铁
  • 257篇王跃林
  • 45篇王翊
  • 32篇刘延祥
  • 28篇周宏
  • 22篇沈鸿烈
  • 20篇高安然
  • 20篇邹世昌
  • 17篇王文辉
  • 16篇熊斌
  • 16篇俞骁
  • 16篇许磊
  • 15篇李昕欣
  • 15篇沈勤我
  • 13篇焦继伟
  • 13篇戴鹏飞
  • 12篇鲁娜
  • 11篇王文荣
  • 10篇唐衍哲
  • 10篇梁晨

传媒

  • 21篇功能材料与器...
  • 5篇传感技术学报
  • 4篇第1届全国磁...
  • 3篇Journa...
  • 3篇物理学报
  • 3篇中国科学（E...
  • 3篇第五届全国微...
  • 2篇现代科学仪器
  • 2篇光电子．激光
  • 2篇科学通报
  • 2篇功能材料
  • 2篇测试技术学报
  • 2篇激光与红外
  • 2篇纳米技术与精...
  • 2篇传感器与微系...
  • 2篇第十届全国磁...
  • 2篇第十届全国磁...
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇半导体技术

年份

  • 9篇2024
  • 5篇2023
  • 25篇2022
  • 23篇2021
  • 31篇2020
  • 14篇2019
  • 15篇2018
  • 15篇2017
  • 12篇2016
  • 18篇2015
  • 21篇2014
  • 12篇2013
  • 11篇2012
  • 11篇2011
  • 12篇2010
  • 13篇2009
  • 9篇2008
  • 13篇2007
  • 9篇2006
  • 6篇2005
共 351 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法
本发明涉及一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法，特征在于以绝缘层上的硅为基材料，利用硅的各向异性腐蚀特性，通过氧化、光刻、腐蚀等微机械加工技术，制作出位置精确、镜面平整度高且与波导平面绝对垂直的全反射镜，并和用绝缘...
唐衍哲王文辉李铁王跃林
文献传递
一种微型热导气体传感器
本发明涉及一种微型热导气体传感器，包括下盖、以及与所述下盖气密性键合的上盖，所述下盖的上表面设有两个悬浮的热丝组件，其中，每个热丝组件连接一组焊盘；所述上盖的下表面上设有两组依次连接的第一浅槽气道、气道和第二浅槽气道，其...
李铁王家钰王翊
文献传递
一种调控德拜长度实现复杂环境高灵敏生化检测的方法
本发明提供一种调控德拜长度实现复杂环境高灵敏生化检测的方法，包括：对复杂样本进行稀释，得到多个浓度的目标溶液；将复杂样本以及稀释后的目标溶液通过纳米传感器阵列；通过纳米传感器的检测灵敏度确定合适的稀释倍数和探针的类型，随...
李铁魏擅红杨义
一种三明治结构MEMS圆柱形离子阱、制备方法及应用
本发明涉及一种三明治结构MEMS圆柱形离子阱、制备方法及应用，其特征在于所述的圆柱形离子阱由两个端盖电极硅片与圆柱形电极硅片分两次键合形成一体式结构。所述一体式结构是由三个硅片通过两次键合而成，其中上下层两个硅片是端盖电...
肖军徽李铁黄刚刘延祥王跃林
一种在(111)型硅片上制作单晶硅纳米长针尖的方法
本发明提供一种在（111）型硅片上制作单晶硅纳米长针尖的方法，包括：于硅片表面制作至少具有3个两两相邻的刻蚀窗口的掩膜图形；将各该刻蚀窗口下方的硅片用ICP干法刻蚀至一预设深度；各向异性湿法腐蚀，使两两相邻的3个腐蚀槽的...
李铁俞骁张啸王跃林
文献传递
在绝缘体上硅的硅片上纳米宽度谐振结构及其制作方法
本发明涉及一种在SOI硅片上纳米宽度谐振结构及制作方法，其特征在于巧妙利用了(110)晶向硅片的各向异性湿法腐蚀特性，通过精确控制光刻掩模图形与(112)晶向间夹角，利用各向异性湿法腐蚀会自动校准晶向、同时结合腐蚀液对(...
杨恒许科峰李铁焦继伟李昕欣王跃林
文献传递
基于SiC热电材料的高温热流传感器及其制备方法
本发明提供一种基于SiC热电材料的高温热流传感器及其制备方法，包括：SiC衬底，具有第一表面和第二表面，第一表面上设有沟槽及由沟槽围绕形成的平台区域；复合介质膜，覆盖沟槽及平台区域；隔热腔体，设于SiC衬底中，由第二表面...
李铁田伟王跃林
文献传递
一种采用混合等离子体实现硅基芯片与PDMS芯片键合的方法
本发明提供一种采用混合等离子体实现硅基芯片与PDMS芯片键合的方法，首先提供一硅基芯片与一PDMS芯片，采用丙酮和酒精对所述硅基芯片及所述PDMS芯片进行超声清洗，然后采用氧气及第二气体的混合等离子体对所述硅基芯片的键合...
李铁高安然戴鹏飞鲁娜萨姆·海米拉帕西·盖里奥王跃林
文献传递
一维纳米结构的拉伸力学测试被引量：1
2008年
对一维纳米结构开展轴向拉伸测试时,面临着样品制备、装载、拉伸、样品的轴向应力与应变的高精度测量等难点,解决途径包括改造现代显微仪器、研制MEMS力学测试芯片及发展一维纳米样品的制备与装载技术。从实验使用的测试仪器及拉伸方式出发,将目前发表的一维纳米拉伸实验分为基于探针、MEMS和电子束辐照开展的拉伸实验,并对各种实验方法进行了比较。发现基于MEMS的拉伸实验由于其对测试仪器的改造小、花费少、且通过设计制作不同测试功能的芯片可实现多样测试,是更有发展前景的测试技术。
金钦华王跃林李铁
关键词：一维纳米结构原位测试
先进体硅机械加工技术——从微米到纳米
介绍了多种自主研发的先进体硅机械加工技术。在湿法各向异性腐蚀技术方面,开发了一种“掩模-无掩模三维腐蚀技术”,只进行一次光刻,就可以用顺序的腐蚀过程实现多层微机械结构,用该技术可以制备多种先进MEMS器件。介绍用ICP-...
李昕欣王跃林李铁杨恒焦继伟
文献传递
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