杨玉卫
- 作品数：11 被引量：30H指数：3
- 供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学化学工程一般工业技术电子电信更多>>
- 射频功率对红外光学用类金刚石膜结构和性能的影响被引量：1
- 2014年
- 利用射频等离子体增强化学气相沉积技术,以CH4为气源,在单晶锗基底上制备了具有红外增透效果的薄膜。Raman光谱分析表明,D峰和G峰分别位于1200～1450 cm^-1和1500～1700 cm^-1之间,说明薄膜具有典型的类金刚石的特征峰,可知镀制的薄膜是类金刚石膜。通过研究射频功率对类金刚石膜红外透过率以及硬度等性能的影响,分析了类金刚石膜的红外透过率和纳米硬度随着薄膜中sp3含量的增加而增大的原因,从而找出一种利用PECVD方法制备DLC膜的最佳工艺参数。
- 杨玉卫张华杨坚古宏伟
- 关键词：类金刚石膜RF-PECVDRAMAN光谱红外透过率
- 镧对Al-Sn-Bi牺牲阳极电化学性能的影响被引量：3
- 2010年
- 通过恒电流法和失重法研究了加入La对Al-Sn-Bi阳极电化学性能的影响,对比分析了阳极的电化学溶解特征。结果表明:不同含量La对Al-Sn-Bi牺牲阳极的电位影响较小;电流效率比未加La的阳极有不同程度的提高,其中Al-Sn-Bi-0.1La的电流效率增幅较大;La可改善阳极的腐蚀形貌,使得表面溶解均匀,同时降低阳极腐蚀速率,提高其耐蚀性,其中含量0.1%La效果明显。
- 侯德龙宋月清李德富杨玉卫
- 关键词：电化学性能腐蚀速率稀土
- 一种在锗基片上制备类金刚石膜的方法
- 本发明涉及一种等离子体化学气相沉积在锗基片上制备类金刚石膜的方法，包括以下步骤：(1)将锗基片放置在腔体阴极板上；(2)抽腔体真空，随后通入CH<Sub>4</Sub>气体，调整腔体气压，平衡3-5分钟；(3)射频电源起...
- 刘慧舟杨坚杨玉卫冯校亮周其张华古宏伟
- 文献传递
- 一种在锗基片上制备类金刚石膜的方法
- 本发明涉及一种等离子体化学气相沉积在锗基片上制备类金刚石膜的方法，包括以下步骤：(1)将锗基片放置在腔体阴极板上；(2)抽腔体真空，随后通入CH<Sub>4</Sub>气体，调整腔体气压，平衡3-5分钟；(3)射频电源起...
- 刘慧舟杨坚杨玉卫冯校亮周其张华古宏伟
- 反应溅射法连续制备CeO2隔离层
- 用带有反应溅射装置的走带系统在立方织构的Ni-5％w衬底上连续制备了长10cm的Ce02隔离层，为避免金属衬底氧化,以H2O作为反应气体。研究了衬底温度、走带速率对CeO2隔离层外延生长的影响，用x射线θ～2θ扫描,φ扫...
- 张华刘慧舟杨坚金薇杨玉卫古宏伟
- 关键词：半导体薄膜反应溅射
- RF-PECVD制备类金刚石膜的研究被引量：2
- 2012年
- 采用RF-PECVD法在锗(Ge)基片上沉积类金刚石(DLC)薄膜,研究了气体流量和气压对沉积区域均匀性的影响,以及基片厚度与沉积时间的关系。用拉曼光谱(Raman)分析DLC膜的结构组成,用傅立叶红外光谱仪(IR)对DLC膜的透过率进行了测量。结果表明,在气体流量为50 sccm,气压为10 Pa,功率800 W条件下薄膜厚度均匀性可达2.1%,极值透过率达62%。
- 张华杨坚杨玉卫王磊
- 关键词：类金刚石膜
- 利用粉煤灰等工业废料制备日用陶瓷的研究被引量：3
- 2014年
- 针对目前火电厂大量排放粉煤灰,陶瓷工业产生大量废匣钵、废瓷粉但得不到充分利用的现象,为了使其变废为宝,本实验在长城陶瓷有限公司成熟的注浆泥配方的基础上,利用正交实验设计配方,经调整配方组成,加入了粉煤灰等工业废料,现己研制出清洁生产日用陶瓷的配方。其中粉煤灰、废匣钵、废瓷粉的含量分别是10%,10%,8%,工业废料的含量合计达到了28%。由于粉煤灰、废瓷粉和废匣钵的价格低廉,应用此技术则可以为企业带来可观的经济效益。
- 杨玉卫张明熹沈毅李晶华蔡永丰
- 关键词：煤灰日用陶瓷注浆成形正交实验
- 利用粉煤灰等工业废料制备日用陶瓷的研究
- 针对目前火电厂大量排放粉煤灰,陶瓷工业产生大量废匣钵、废瓷粉但得不到充分利用的现象,为了使其变废为宝,本实验在长城陶瓷有限公司成熟的注浆泥配方的基础上,利用正交实验设计配方,经调整配方组成,加入了粉煤灰等工业废料,现已研...
- 杨玉卫张明熹沈毅李晶华蔡永丰
- 关键词：日用陶瓷粉煤灰废瓷粉
- 文献传递
- 直流反应溅射法制备Y_2O_3隔离层的研究
- 2008年
- 采用直流反应溅射的方法在具有立方织构的Ni基底上制备出了Y2O3隔离层,并研究了基带温度与H2O分压两个因素对Y2O3薄膜的织构取向以及表面形貌的影响。X射线衍射(XRD)结果和扫描电子显微镜(SEM)的分析表明,在温度为760℃,H2O分压为1.68×10-2Pa的条件下制备出的Y2O3薄膜具有强立方织构,平面内Φ扫描半高宽为7.07°,其表面均匀、致密、无裂纹。
- 金薇古宏伟杨坚张华刘慧舟杨玉卫
- 关键词：氧化钇隔离层涂层导体
- 类金刚石膜的性能、制备及其应用被引量：20
- 2008年
- 类金刚石膜是无定形碳中含sp3键的亚稳态结构。由于它的组成、光学透过率、硬度、折射率和在化学腐蚀剂中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金刚石,其应用领域不断被拓宽,因此对类金刚石的研究也日益成为热点。本文介绍了类金刚石的性能、制备类金刚石膜的物理气相沉积和化学气相沉积方法,概括了类金刚石膜在机械、电磁学、光学、医学以及其它领域的应用,最后指出了类金刚石膜的研究现状及其发展趋势。
- 杨玉卫杨坚古宏伟刘慧舟张华金薇
- 关键词：类金刚石薄膜
