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杨舜尧

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学更多>>
相关领域：交通运输工程建筑科学文化科学金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇建筑科学
  • 2篇交通运输工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇文化科学

主题

  • 3篇调制
  • 3篇压电
  • 3篇压电陶瓷
  • 3篇真空吸盘
  • 3篇扫描探针
  • 3篇隧道效应
  • 3篇机座
  • 2篇电路
  • 2篇扫描隧道显微...
  • 2篇前置放大电路
  • 2篇微米
  • 2篇放大电路
  • 2篇高深
  • 2篇比测
  • 2篇测量范围
  • 1篇形貌
  • 1篇面形
  • 1篇超精
  • 1篇超精密

机构

  • 6篇浙江大学

作者

  • 6篇杨舜尧
  • 5篇张威
  • 5篇朱吴乐
  • 5篇陈远流
  • 5篇居冰峰

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2014
  • 2篇2013
  • 2篇2012
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
基于扫描隧道效应的在位测量装置
本实用新型公开了一种基于扫描隧道效应的在位测量装置。它包括L形机座、气浮主轴、Z向水平移动轴、X向水平移动轴、大理石支架、二维精密手调台、Y方向精密伺服电机、探头夹具、压电陶瓷、前置信号调制单元、扫描探针、被测工件；L形...
居冰峰朱吴乐杨舜尧陈远流张威
基于扫描隧道效应的在位测量装置及扫描探针自动对中方法
本发明公开了一种基于扫描隧道效应的在位测量装置及扫描探针自动对中方法。它包括L形机座、气浮主轴、Z向水平移动轴、X向水平移动轴、大理石支架、二维精密手调台、Y方向精密伺服电机、探头夹具、压电陶瓷、前置信号调制单元、扫描探...
居冰峰朱吴乐杨舜尧陈远流张威
一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜
本实用新型公开一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜。L型基座底板、第一转接板、X轴手动平移台、Y轴手动平移台、X轴直流电动平移台、Y轴直流电动平移台、手动倾角台、第二转接板、样品台顺次相连，L型基座侧板上部...
居冰峰陈远流张威朱吴乐杨舜尧
微结构阵列超精密加工过程中的形貌测量与误差分析
运用金刚石刀具的超精密车削机床具有极高的定位精度与较多的自由度,可以实现复杂微结构阵列的高精度、超光滑加工,在航空航天、半导体制造领域得到广泛应用。尽管超精密金刚石切削技术的加工精度受到机床定位精度的保障,但实际加工过程...
杨舜尧
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基于扫描隧道效应的在位测量装置及扫描探针自动对中方法
本发明公开了一种基于扫描隧道效应的在位测量装置及扫描探针自动对中方法。它包括L形机座、气浮主轴、Z向水平移动轴、X向水平移动轴、大理石支架、二维精密手调台、Y方向精密伺服电机、探头夹具、压电陶瓷、前置信号调制单元、扫描探...
居冰峰朱吴乐杨舜尧陈远流张威
文献传递
具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜
本发明公开一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜。L型基座底板、第一转接板、X轴手动平移台、Y轴手动平移台、X轴直流电动平移台、Y轴直流电动平移台、手动倾角台、第二转接板、样品台顺次相连，L型基座侧板上部设有...
居冰峰陈远流张威朱吴乐杨舜尧
文献传递
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