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杨舜尧
作品数:
6
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供职机构:
浙江大学
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相关领域:
交通运输工程
建筑科学
文化科学
金属学及工艺
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合作作者
居冰峰
浙江大学
陈远流
浙江大学
朱吴乐
浙江大学
张威
浙江大学
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超精密
机构
6篇
浙江大学
作者
6篇
杨舜尧
5篇
张威
5篇
朱吴乐
5篇
陈远流
5篇
居冰峰
年份
1篇
2018
1篇
2014
2篇
2013
2篇
2012
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6
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基于扫描隧道效应的在位测量装置
本实用新型公开了一种基于扫描隧道效应的在位测量装置。它包括L形机座、气浮主轴、Z向水平移动轴、X向水平移动轴、大理石支架、二维精密手调台、Y方向精密伺服电机、探头夹具、压电陶瓷、前置信号调制单元、扫描探针、被测工件;L形...
居冰峰
朱吴乐
杨舜尧
陈远流
张威
基于扫描隧道效应的在位测量装置及扫描探针自动对中方法
本发明公开了一种基于扫描隧道效应的在位测量装置及扫描探针自动对中方法。它包括L形机座、气浮主轴、Z向水平移动轴、X向水平移动轴、大理石支架、二维精密手调台、Y方向精密伺服电机、探头夹具、压电陶瓷、前置信号调制单元、扫描探...
居冰峰
朱吴乐
杨舜尧
陈远流
张威
一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜
本实用新型公开一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜。L型基座底板、第一转接板、X轴手动平移台、Y轴手动平移台、X轴直流电动平移台、Y轴直流电动平移台、手动倾角台、第二转接板、样品台顺次相连,L型基座侧板上部...
居冰峰
陈远流
张威
朱吴乐
杨舜尧
微结构阵列超精密加工过程中的形貌测量与误差分析
运用金刚石刀具的超精密车削机床具有极高的定位精度与较多的自由度,可以实现复杂微结构阵列的高精度、超光滑加工,在航空航天、半导体制造领域得到广泛应用。尽管超精密金刚石切削技术的加工精度受到机床定位精度的保障,但实际加工过程...
杨舜尧
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基于扫描隧道效应的在位测量装置及扫描探针自动对中方法
本发明公开了一种基于扫描隧道效应的在位测量装置及扫描探针自动对中方法。它包括L形机座、气浮主轴、Z向水平移动轴、X向水平移动轴、大理石支架、二维精密手调台、Y方向精密伺服电机、探头夹具、压电陶瓷、前置信号调制单元、扫描探...
居冰峰
朱吴乐
杨舜尧
陈远流
张威
文献传递
具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜
本发明公开一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜。L型基座底板、第一转接板、X轴手动平移台、Y轴手动平移台、X轴直流电动平移台、Y轴直流电动平移台、手动倾角台、第二转接板、样品台顺次相连,L型基座侧板上部设有...
居冰峰
陈远流
张威
朱吴乐
杨舜尧
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