欧阳炜霞
- 作品数：16 被引量：11H指数：2
- 供职机构：华东师范大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金上海市教育委员会重点学科基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 一种MEMS复合牺牲层工艺的研究被引量：1
- 2009年
- 以MEMS滤波器中的MEMS开关牺牲层的工艺为例,通过同时运用聚酰亚胺和正胶作为牺牲层材料的方法,避免了牺牲层单独使用聚酰亚胺做材料难于去除,或单独使用光刻胶做材料,叠层旋涂光刻胶时会出现龟裂的缺点。改善了牺牲层固化和刻蚀的效果,减小了刻蚀的时间。此研究应用在表面微细加工工艺中,对MEMS加工工艺具有一定的参考价值。
- 王超张永华郭兴龙欧阳炜霞赖宗声
- 关键词：射频微机械开关牺牲层聚酰亚胺正胶刻蚀
- 基于MEMS技术的微波滤波器研究进展被引量：5
- 2008年
- 基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点。对利用MEMS技术制作的滤波器做了分类总结,综述了近几年MEMS滤波器的研究进展,包括硅体微加工滤波器、LIGA传输线型滤波器和基于MEMS开关/电容实现的可调滤波器。指出可调滤波器的开发适应微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系统的迫切需要,具有重要的现实意义。
- 欧阳炜霞张永华王超郭兴龙赖宗声
- 关键词：MEMS技术微波滤波器可调滤波器
- 一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器及其制备方法
- 一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器及其制备。该滤波器是制作在高阻硅片的衬底上的集成电路，CPW共面波导地线和信号线构成感抗元件，MEMS开关一方面构成容抗元件，另一方面通过其通断改变共面波导的长度，使该滤波器的频率...
- 欧阳炜霞郭兴龙赖宗声张永华王超刘蕾
- 文献传递
- 可编程输入缓冲器
- 一种可编程输入缓冲器，属于接口电路的技术领域，含差分比较器模块，单端施密特触发器模块和可编程延迟模块，利用2位数字信号编程实现不同协议标准的通路选择，差分比较器模块对有基准电压要求的协议进行比较整形，转化为数字信号，单端...
- 陈磊雷奥赖宗声刘琳陈子晏杨华马和良赖琳晖周灏欧阳炜霞
- 文献传递
- 一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器及其制备
- 一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器及其制备。该滤波器是制作在高阻硅片的衬底上的集成电路，CPW共面波导地线和信号线构成感抗元件，MEMS开关一方面构成容抗元件，另一方面通过其通断改变共面波导的长度，使该滤波器的频率...
- 欧阳炜霞郭兴龙赖宗声张永华王超刘蕾
- 文献传递
- 可编程CMOS信号输出缓冲器
- 一种可编程CMOS信号输出缓冲器，属于数模混合电路及信号处理的技术领域，利用数字信号对十二个编程点进行的编程配置，控制信号输出缓冲器的驱动能力以及输出信号的摆率和速度以达到驱动能力和传输速度可调，从而适应各种不同数据传输...
- 陈子晏陈磊赖宗声刘琳杨华周灏赖琳晖雷奥马和良欧阳炜霞徐琳
- 文献传递
- 可编程CMOS信号输出缓冲器
- 一种可编程CMOS信号输出缓冲器，属于数模混合电路及信号处理的技术领域，利用数字信号对十二个编程点进行的编程配置，控制信号输出缓冲器的驱动能力以及输出信号的摆率和速度以达到驱动能力和传输速度可调，从而适应各种不同数据传输...
- 陈子晏陈磊赖宗声刘琳杨华周灏赖琳晖雷奥马和良欧阳炜霞徐琳
- 文献传递
- 含MEMS开关的谐振频率可重构的天线及其制作
- 一种含MEMS(微电子机械)开关的谐振频率可重构的天线及其制作，属于微波和微电子交叉的技术领域。用MEMS工艺和IC工艺，通过衬底的清洗和热氧化、电镀金层、电镀增加第一～第四桥墩的高度、淀积氮化硅薄膜、涂敷牺牲层、蒸发铝...
- 郭兴龙欧阳炜霞赖宗声刘蕾
- 文献传递
- 高速鉴相器
- 一种高速鉴相器，确切说，涉及一种基于单相时钟动态CMOS技术的高速鉴相器，属于信号处理及其电路的技术领域。在传统的鉴相器的基础上，在反馈环路中添加了一个延时模块，使鉴相器工作时没有死区，用高速的D触发器替换了传统的低速的...
- 马和良雷奥赖宗声周灏赖琳晖陈磊杨华刘琳陈子晏欧阳炜霞
- 文献传递
- 无线通讯用硅基微小天线
- 2008年
- 采用微电子加工工艺在高电阻率硅片上设计和制备了微小天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dBi,谐振频率约为3GHz,能够满足通讯系统中天线系统的要求,并且文章对天线的制作工艺进行了详细的介绍,此天线有利于天线集成和与CMOS工艺等的兼容.
- 郭兴龙金妍刘蕾欧阳炜霞赖宗声
- 关键词：IC工艺
