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沈三民
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2
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北京大学
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郝一龙
北京大学
张文栋
北京大学
董海峰
北京大学
贾玉斌
北京大学
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作者
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贾玉斌
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沈三民
2篇
董海峰
2篇
张文栋
2篇
郝一龙
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1篇
2008
1篇
2006
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差分式抗高过载微型隧道加速度计及其制备方法
本发明提供一种差分式隧道加速度计,具体公开该差分式隧道加速度计的结构及其制备方法。本发明的差分式抗高过载隧道加速度计,包括玻璃衬底,玻璃衬底上电信号连接引线,玻璃衬底通过锚点与支撑梁,固定梳齿电极和隧尖相连接。支撑梁与质...
董海峰
郝一龙
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沈三民
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差分式抗高过载微型隧道加速度计及其制备方法
本发明提供一种差分式隧道加速度计,具体公开该差分式隧道加速度计的结构及其制备方法。本发明的差分式抗高过载隧道加速度计,包括玻璃衬底,玻璃衬底上电信号连接引线,玻璃衬底通过锚点与支撑梁,固定梳齿电极和隧尖相连接。支撑梁与质...
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