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潘国辉
作品数:
1
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供职机构:
兰州大学物理系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
何志巍
兰州大学物理系
缑洁
兰州大学物理系
王印月
兰州大学物理系
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王印月
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潘国辉
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何志巍
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1篇
2006
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用SCLC法研究低k多孔SiO_2:F薄膜的隙态密度
2006年
用溶胶-凝胶法制备了低k多孔SiO2:F薄膜,用空间电荷限制电流法(SCLC)研究了多孔SiO2:F薄膜中的隙态密度以及掺F量对隙态密度的影响,得到了平衡费米能级附近的隙态密度约为7×1015cm-3·eV-1,以及带隙中隙态随能量的分布.并对造成隙态的主要原因也进行了讨论.
缑洁
何志巍
潘国辉
王印月
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SCLC
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