牛德芳
- 作品数：32 被引量：112H指数：6
- 供职机构：大连理工大学电子科学与技术学院微电子学与固体电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金“九五”国家科技攻关计划“八五”国家科技攻关计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程建筑科学更多>>
- 多晶硅薄膜的结构与电学特性关系的研究
- 1995年
- 多晶硅薄膜的性质与膜的结构有密切关系.界面结构主要指晶粒尺寸、择优取向及其结构,多晶硅薄膜的结构主要由沉积条件、膜厚、掺杂条件和后来的退火温度和退火时间所决定.本文讨论了用常规低压化学汽相淀积(LPCVD)方法制备的多晶硅薄膜的结构特性,初步获得了提高多晶硅压力传感器灵敏度及其温度稳定性的条件.
- 闫卫平马灵芝牛德芳
- 关键词：多晶硅薄膜电学特性
- 全文增补中
- 压阻式压力传感器C型结构偏差的有限元分析被引量：3
- 1995年
- 为提高Ｃ型压力传感器性能，利用有限元方法，对Ｃ型结构传感器加工过程中出现的边缘Ｒ角、膜厚不均匀、双面对准偏差进行计算与分析．其结果表明控制工艺偏差是研制高性能传感器的基础．
- 吴坚民唐祯安牛德芳
- 关键词：压力传感器有限元分析压阻
- 光纤甲烷气体传感器的研究被引量：24
- 1999年
- 】介绍了一种新型透射式光纤甲烷传感器。在不存在透射膜时，由于甲烷对光吸收系数较小，吸收长度较短，光强的变化不够明显。通过研究制备一种纳米级多孔透射膜，大大增强了甲烷气体对光线的吸收。
- 刘文琦牛德芳
- 关键词：光纤甲烷气体传感器传感器
- 多晶硅压力传感器的设计被引量：2
- 1994年
- 本文是利用多晶硅压阻效应,研制出数字输出式压力传感器,并利用软、硬件技术进行温漂和非线性补偿,经A/D转换,实现数字量输出。
- 牛德芳闫卫平马灵芝
- 关键词：压力传感器传感器多晶硅参数选择
- 微机械差动电容压力传感器的研究被引量：2
- 2000年
- 文中介绍以Ｎ型单晶硅为基底，利用微机械加工研制而成的一种中央上举开放式差动电容压力传感器的结构及其设计。
- 牛德芳庞济沈月婷仲崇权殷福亮
- 关键词：微机械差动电容压力传感器
- 采用环形扩散电阻的硅压力传感器被引量：1
- 1992年
- 本文通过对C型硅杯式压力传感器工艺误差的分析,介绍了采用环形扩散电阻的优点,设计方法和实验结果。
- 唐祯安蒋国平牛德芳
- 关键词：传感器压力传感器硅压阻式
- 一种压力传感器及其平面复合差动方法
- 一种压力传感器及其平面复合差动方法属于传感器技术领域，主要解决传感器零压时上下电容间距很难保证一致、引线困难、被测介质与电容极板接触的问题，本发明包括带引压管的基座、带通道孔、双杯、双膜、双岛的基体、电容的上、下电极、上...
- 牛德芳仲崇权殷福亮杨素英
- 文献传递
- 一种新型光开关交换器
- 2001年
- 探讨了光偏振现象和旋光现象的特点 ,进而利用偏振和旋光现象提出一种新型光开关交换器。这种交换器具有结构简单、与输入光的偏振态无关、不会产生相位差、插入损耗和信道串扰小、响应速度快、器件体积小等优点 ,同时可以使用此器件和光波分复用 /解复用器相结合 ,方便地实现任意波长的上下路。对 2× 2开关交换器的性能进行了分析 ,结果表明它的插入损耗和信道串话都很小。
- 张惠英冯锡钰牛德芳
- 关键词：光偏振旋光光纤通信
- 多晶力敏元件热稳定性分析
- 1994年
- 本文通过对单晶硅、多晶硅力敏元件复合结构的对比分析。
- 牛德芳马灵芝闫卫平
- 关键词：力敏元件复合结构热稳定性
- 一种微流量计
- 一种微流量测量用的微流量计，其节流元件是由微颗粒层板或泡沫层板制成。同时还采用由半导体二极管、三极管、运算放大器、电阻所组成的流量温度补偿网络。并利用二极管或电阻(指热敏电阻)的电流温度系数与流体粘度温度系数相当的措施来...
- 牛德芳高鑫胡静山李桂芳
- 文献传递
