王小燕
- 作品数：7 被引量：6H指数：1
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学化学工程更多>>
- 薄膜晶体管及其半导体薄膜的制备方法
- 本发明涉及一种采用氧化锡薄膜的薄膜晶体管及其制备方法，还涉及氧化锡薄膜的制备方法及包括利用该制备方法制备的电子器件。本发明氧化锡薄膜的制备方法包括：将含锡有机化合物溶于有机溶剂中制备前驱体溶液，将前驱体溶液均匀涂敷在器件...
- 邱勇董桂芳王小燕
- 文献传递
- 溶液法制备的氧化锌多层膜及其场效应性质(英文)被引量：5
- 2010年
- 通过旋涂法,采用不同浓度的前躯体制备了氧化锌多层膜,并制备了基于此多层膜的薄膜晶体管器件.实验证明,基于按照氧化锌前躯体浓度顺序为0.25、0.10和0.05 mol.L-1依次旋涂前躯体溶液制备的氧化锌薄膜的晶体管器件的载流子迁移率为0.02 cm.2V-.1s-1,高于按照浓度顺序为0.05、0.10和0.25 mol.L-1依次旋涂前躯体溶液制备的氧化锌薄膜的载流子迁移率(0.013 cm2.V-.1s-1).原子力显微镜(AFM)结果表明,前一种薄膜粗糙度的均方根值(rms)为3.95 nm,而后一种薄膜粗糙度的rms远远高于前者,为4.52 nm,这就说明了氧化锌薄膜的粗糙度对薄膜的半导体性质有很大的影响,这是由于平整的薄膜有利于形成理想的源/漏电极与半导体层的接触.在晶体管中,起传输作用的半导体层是靠近ZnO/SiO2界面处的几纳米的半导体层中的氧化锌晶粒,因此起始形成的氧化锌薄膜的结晶度影响着晶体管的性能.采用X射线衍射(XRD)测试了多层膜中起始形成的薄膜的结晶性能.对于前一种薄膜,起始形成的薄膜为多晶薄膜,而对于后一种薄膜,起始形成的薄膜是无定形薄膜.因此,粗糙度以及起始形成的薄膜的结晶度影响着多层半导体薄膜的性质.
- 王小燕董桂芳乔娟王立铎邱勇
- 关键词：氧化锌多层膜场效应薄膜晶体管
- 薄膜晶体管及其半导体薄膜的制备方法
- 本发明涉及一种采用氧化锡薄膜的薄膜晶体管及其制备方法，还涉及氧化锡薄膜的制备方法及包括利用该制备方法制备的电子器件。本发明氧化锡薄膜的制备方法包括：将含锡有机化合物溶于有机溶剂中制备前驱体溶液，将前驱体溶液均匀涂敷在器件...
- 邱勇董桂芳王小燕
- 文献传递
- 湿法制备的金属氧化物薄膜及其性质研究
- 王小燕
- 关键词：金属氧化物半导体前驱体
- 旋涂水溶液前驱体制备氧化锌薄膜及其性质(英文)被引量：1
- 2010年
- 通过旋涂法,采用Zn(OAc)2·2H2O和聚环氧乙烷(PEO)的水溶液为前驱体在不同的热处理温度下制备了ZnO薄膜.PEO的加入增加了溶液的成膜性,其较低的热分解温度有利于制得纯净的ZnO薄膜.文中考察了在不同热处理温度下制备的ZnO薄膜的形貌、结晶性、带隙(Eg)以及电导性.原子力显微镜(AFM)测试表明在热处理温度为400、450和500℃制备的ZnO薄膜的粗糙度均方根值分别为3.3、2.7和3.6nm.采用透射电子显微镜(TEM)测试发现ZnO薄膜中含有大量纳晶粒子.通过测试ZnO薄膜的UV-Vis吸收光谱,根据薄膜位于373nm处的吸收带边计算得到ZnO的带隙为3.3eV.通过对薄膜的电流-电压(I-V)曲线的测试计算得到在热处理温度为400、450和500℃制备的ZnO薄膜的电阻率分别为3.3×109、2.7×109和6.6×109Ω·cm.450℃时制备的ZnO薄膜的电阻率最小,主要是由于较高的热处理温度有利于提高薄膜的纯度、密度和吸附氧.而纯度较高、密度较大的薄膜电阻率比较小;吸附氧含量增加,晶界势垒增大,电阻率增大.因此在纯度和吸附氧的双重作用下450℃时制备的ZnO薄膜的电阻率最小,而500℃时制备的ZnO薄膜的电阻率最大.
- 王小燕董桂芳乔娟段炼王立铎邱勇
- 关键词：水溶液带隙电导性
- 溶液法制备氧化锌半导体薄膜及其顶栅极晶体管器件被引量：1
- 2009年
- 采用旋涂法用浓度分别为0.05,0.10和0.25mol·L-1的氧化锌前躯体溶液制备了氧化锌薄膜,并且制备了基于氧化锌多层膜的顶栅极晶体管器件,其中以利用光刻工艺刻蚀的氧化铟锡为源漏电极。通过原子力显微镜(AFM)和X-射线衍射(XRD)分别表征了薄膜的形貌以及结晶情况,并且讨论了前躯体的浓度顺序对氧化锌多层膜的影响。按照浓度从大到小的顺序依次旋涂前躯体溶液制备的氧化锌薄膜表现出了较高的载流子迁移率(7.1×10-3cm2·V-1·s-1),而按照浓度从小到大的顺序依次旋涂前躯体溶液制备的氧化锌薄膜的载流子迁移率为5.2×10-3cm2·V-1·s-1。文中通过对两种多层薄膜的形貌和结晶性能的分析表明影响顶栅极薄膜晶体管性能的主要因素是薄膜的粗糙度。平整的薄膜有利于形成较好的半导体层/绝缘层接触界面,从而有利于提高器件的载流子迁移率。
- 王小燕董桂芳乔娟王立铎邱勇
- 关键词：氧化锌
- 齿科用可切削玻璃陶瓷的研究
- 可切削玻璃陶瓷由于具有优良的性能和容易加工的特点,而成为齿科全瓷修复材料的发展方向。本文对KO-MgO-MgF-SiO系统,分别采用熔融铸造法和烧结法制备出了可切削的氟硅云母玻璃陶瓷块。结果表明:两种方法制备的玻璃陶瓷块...
- 田杰谟曹小刚董利明王晨王小燕王贤刚徐伟
- 关键词：玻璃陶瓷烧结法
- 文献传递
