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王明哲

作品数：4 被引量：29H指数：1
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 2篇限位
  • 2篇限位装置
  • 2篇磨损
  • 2篇拉紧装置
  • 1篇电磁铁
  • 1篇电机
  • 1篇电机驱动
  • 1篇定位机构
  • 1篇掩模
  • 1篇制动电磁铁
  • 1篇双电机
  • 1篇双电机驱动
  • 1篇微小型
  • 1篇开环控制
  • 1篇工件台
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻机
  • 1篇步进

机构

  • 4篇中国科学院长...

作者

  • 4篇王明哲
  • 2篇田学光
  • 2篇张德龙
  • 2篇宋志
  • 2篇常丰吉
  • 1篇田兴志
  • 1篇高云国
  • 1篇董吉洪
  • 1篇刘伟
  • 1篇荆宇
  • 1篇李志来

传媒

  • 1篇光机电信息

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2004
  • 1篇2002
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
柔性载带限位装置
本发明涉及一种柔性载带限位装置，该装置包括两个导向杆，导向杆支撑装置，至少四个拉紧装置，及与拉紧装置数量相应的限位绳；所述导向杆的两端分别与导向杆支撑装置连接；拉紧装置分为两组，对称固定安装在两个导向杆上，并且每个限位绳...
张德龙王明哲常丰吉宋志田学光
柔性载带限位装置
本发明涉及一种柔性载带限位装置，该装置包括两个导向杆，导向杆支撑装置，至少四个拉紧装置，及与拉紧装置数量相应的限位绳；所述导向杆的两端分别与导向杆支撑装置连接；拉紧装置分为两组，对称固定安装在两个导向杆上，并且每个限位绳...
张德龙王明哲常丰吉宋志田学光
文献传递
微小型双电机驱动两维步进定位机构
本实用新型涉及微小型双电机驱动两维步进定位机构,包括回转零位挡块、定位板、弹性铁块、制动电磁铁、直线零位挡块、光纤移动导块、拉紧弹簧、回转运动电机、壳体、转动轴承、转动壳体、直线驱动电机、丝杠、驱动斜块和直线导轨,本实用...
高云国刘伟王明哲荆宇
文献传递
100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展被引量：29
2004年
阐述了100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的功能与构成,并通过对国内外100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的技术现状的分析,总结出了100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台所包含的各项关键技术,为100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的研制奠定了基础。
董吉洪田兴志李志来王明哲
关键词：光刻机工件台
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共1页<1>
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