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王浙辉

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇电路
  • 1篇电路工艺
  • 1篇平面电极
  • 1篇曲梁
  • 1篇弯曲梁
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械光开关
  • 1篇开关
  • 1篇集成电路
  • 1篇集成电路工艺
  • 1篇光开关
  • 1篇叉指电极

机构

  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 1篇王东平
  • 1篇王浙辉
  • 1篇王跃林

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关
本实用新型涉及一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关,属于微机械领域,其特征是它由弯曲梁锚点、弯曲梁、镜子、平面电极或叉指电极以及用来固定光纤的V形槽构成。镜子悬挂于弯曲梁,随弯曲梁运动,梁处于稳定态时,镜子也处于稳定态,...
王浙辉王东平王跃林
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