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王莉
作品数:
3
被引量:3
H指数:1
供职机构:
辽宁大学物理系
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相关领域:
电子电信
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合作作者
宋哲
辽宁大学物理系
石广源
辽宁大学物理系
永福
辽宁大学物理系
王芳
东北微电子研究所
张丽
东北微电子研究所
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作者
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辽宁大学学报...
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微处理机
年份
3篇
2005
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3
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SOI自对准硅化钛工艺研究
被引量:1
2005年
阐述了SOI硅化钛的相关问题,采用两步快速热退火工艺形成低电阻的TiSi2,通过实验得出2次快速热退火的最佳时间和温度,形成良好的SOI自对准硅化钛工艺.
石广源
王莉
宋哲
永福
张丽
王芳
关键词:
SOI
硅化钛
自对准工艺
新型PN结终端技术的研究
被引量:1
2005年
在场板工作机理的基础上阐述了一种新型的场板和保护环相结合的P-N结终端技术的工作原理.最后讨论了此终端结构的可行性.
石广源
永福
宋文斌
赵贵勇
王莉
宋哲
关键词:
场板
保护环
结终端技术
SEU的二维数值模拟
被引量:1
2005年
本文阐述了单粒子效应原理和损伤机理,对MEDICI软件进行了简要介绍。运用MEDICI软件分别对体硅和SOI(Silicon-On-Insulator)衬底材料进行CMOS SRAM的SEU(Single -Event Upset)模拟实验,得出实验结果,并对实验结果进行分析,证明了SOI材料有良好的抗辐射加固特性,体现出SOI材料的优越性。
宋哲
王莉
陆剑侠
许仲德
关键词:
SOI
抗辐射
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