王飞飞
- 作品数：3 被引量：5H指数：2
- 供职机构：西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光电检测重点实验室更多>>
- 发文基金：陕西省教育厅省级重点实验室科研与建设计划项目国防基础科研计划陕西省教育厅科研计划项目更多>>
- 相关领域：理学核科学技术更多>>
- 四栅网式离子能量分析仪栅网特性研究被引量：2
- 2013年
- 为了研究等离子体中离子能量的分布规律,基于栅网式离子能量测试原理,采用离子光学模拟软件Simion7.0,对四栅网离子能量分析仪中网格大小和网格间距对离子能量测量结果的影响进行了理论分析。分析结果表明,当离子能量为800 eV左右时,网格尺寸的大小会影响离子能量的测量精度,网格间距的大小对离子能量的测量结果几乎不产生影响。该研究结果对栅网式离子能量测试装置的设计及网格参数的优化具有重要的理论和实践指导意义。
- 潘永强王飞飞杭凌侠弥谦
- 关键词：离子能量
- 栅网式离子能量分析仪中栅网特性的模拟研究被引量：2
- 2013年
- 等离子体中离子能量的分布是离子束加工技术的关键参数之一。本文基于栅网式离子能量测试原理,采用离子光学模拟软件Simion7.0对栅网式离子能量分析仪的网格大小和网格间距进行了理论分析,这两个几何结构参数影响着离子能量的测试。理论分析结果表明,在离子能量为800 eV左右时,网格尺寸的大小会影响离子能量的测量精度,网格间距的大小对离子能量的测量结果几乎不产生影响。本文的研究结果对栅网式离子能量测试装置的设计及网格参数的优化具有重要的理论和实践指导意义。
- 潘永强王飞飞杭凌侠弥谦
- 关键词：离子能量等离子体
- 栅网式离子能量分析仪的模拟及实验研究被引量：1
- 2014年
- 为了研究离子源所发射出的离子能量分布规律,本文采用离子光学模拟软件Simion7.0对四栅网离子能量分析仪中网格参数进行了相关模拟实验,理论分析表明,栅网透射率对离子能量的测试有一定影响,在设计栅网式离子能量分析仪时应根据所测等离子体的特性确定网格大小和网格间距。采用研制的四栅网离子能量分析仪对宽束冷阴极离子源在不同条件下的离子能量分布进行了实验测试,测试结果表明,离子源的工作真空度越低,测得的离子平均能量越小;当改变离子源的引出电压时,离子平均能量测试误差小于2%。
- 潘永强王飞飞杭凌侠弥谦
- 关键词：离子能量离子源
